판매용 중고 CANON / ANELVA ILD 4100SR #293821838
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CANON/ANELVA ILD 4100SR은 고급 포토 마스크 에칭 및 애싱 작업을 위해 특별히 설계된 고성능 에처 및 애셔입니다. 고급 마스크 제작을위한 최신 제작 공정의 요구를 충족시키기 위해 개발되었습니다. 캐논 일드 -4100SR (CANON ILD-4100SR) 은 독특한 열 관리 장비와 특허 기술로 복잡한 포토 마스크 패턴의 모양과 특징을 유지하면서 높은 에칭 속도와 애싱 속도를 달성 할 수 있습니다. ANELVA ILD-4100 SR은 깨끗하고, 반복 가능하며, 일관된 포토 마스크 에칭 및 애싱 결과를 생성하는 매우 효율적인 에처/애셔입니다. 특유의 열 관리 시스템 (thermal management system) 과 특허를 받은 기술로 무늬 무결성 (pattern integrity) 이나 기판 손상 없이 높은 에칭 (etching) 과 애싱 속도 (ashing rate) 에 도달할 수 있다. 고급 포토 마스크 패턴 에칭 기능을 갖춘 ILD-4100SR은 고급 반도체 생산 공정에 대한 고성능, 고정밀 포토 마스크 (photomask) 를 만들 수 있습니다. CANON/ANELVA ILD 4100 SR은 프로세스 모니터링 (Process Monitoring) 및 데이터 획득 (Data Acquisition) 기능과 같은 고급 자동화 기능을 제공하여 모든 에칭 및 애싱 프로세스가 최적화되고 허용되는 값의 넓은 창 내에서 매개변수를 조정합니다. 또한, 고급 진단 및 재보정 기능을 통해 문제 및 오류를 신속하게 진단하고, 불필요한 재작업을 방지하기 위해 자동으로 재보정 (recalibrate) 할 수 있습니다. ILD-4100 SR은 또한 고효율, 균일 한 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 듀얼 챔버 설계를 갖추고 있습니다. 고급 에칭 및 애싱 공정 제어 장치는 에칭 및 애싱 시간, 에칭 및 애싱 온도, 산소 압력, 에칭 및 애싱 유체 온도와 같은 에칭 및 애싱 매개변수를 조정 할 수 있습니다. 이를 통해 CANON ILD 4100 SR은 금속, 플라스틱, 도자기 및 흑연을 포함한 다양한 재료에서 에칭 및 애싱 작업을 수행 할 수 있습니다. 캐논/아넬바 일드 -4100 SR (CANON/ANELVA ILD-4100 SR) 은 에칭 및 어싱 프로세스 동안 최대의 정확성과 반복성을 보장하기 위해 마이크로미터 및 카메라 좌표계를 갖춘 매우 정밀한 마스크 스테이지를 갖추고 있어 매우 정확한 지원 조작이 가능합니다. 또한, 저전압 (low ~ high voltage) 에 이르는 다양한 전원 공급 장치를 사용하여 최상의 결과를 얻습니다. 전반적으로 CANON ILD-4100 SR은 효과적이고 신뢰할 수있는 etcher/asher로, 포토 마스크 패턴 에칭 및 애싱 프로세스 동안 최대 정밀도와 반복 성을 달성 할 수 있습니다. 고급 열 관리 기계, 특허 기술, 고급 자동화 기능, 이중 챔버 설계 및 정확한 마스크 단계를 갖춘 ANELVA ILD 4100 SR은 고급 photomask 제작에 이상적인 솔루션입니다.
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