판매용 중고 CANON / ANELVA ILD 4100SR #293717605

CANON / ANELVA ILD 4100SR
ID: 293717605
웨이퍼 크기: 8"
Etchers, 8".
CANON/ANELVA ILD 4100SR은 다양한 반도체 개발, 가공 및 재료 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 반도체 웨이퍼 또는 기타 재료에 회로를 에치 또는 '굽기' 하는 데 사용되는 도구입니다. 캐논 일드 -4100SR (CANON ILD-4100SR) 은 얕은 에칭 공정에 사용될 수 있으며, 반도체 개발을위한 부품 생산에 이상적입니다. ANELVA ILD-4100 SR에는 자동 음극 호 발전기, 다중 주파수 전압 조정 및 가스 챔버 건설 압력 제어 장비를 포함한 고급 기능이 있습니다. 음극 호 생성기 (cathodic arc generator) 를 사용하면 재료 침식이 최소화되고 대상 기판이 손상되는 고정밀 에칭 구조를 만들 수 있습니다. 조정 가능한 다중 주파수 전압 (multiple-frequency voltage) 을 통해 이온 폭격 힘과 에치 패턴 (etch pattern) 모양을 미세하게 제어 할 수 있으며, 압력 제어 시스템은 작동 중 가스 챔버에서 필요한 압력 수준을 유지합니다. CANON/ANELVA ILD-4100 SR은 최소 5äm의 얕은 에칭에서 최대 100äm의 깊은 에칭까지 광범위한 작동 범위를 가지고 있습니다. 아르곤 이온 빔 에칭, 플라즈마 에칭, 반응성 이온 에칭 및 기타 얕은/딥 에칭 프로세스와 같은 다양한 프로세스를 지원합니다. 캐논 일드 4100 SR (CANON ILD 4100 SR) 은 또한 작업 중 불규칙성을 감지할 수있는 자체 진단 장치 (self-diagnosis unit) 를 갖추고 있으며, 구성 요소를 손상으로부터 보호하기 위해 기계를 종료합니다. 진공 감지 도구 (vacuum sensing tool) 는 챔버 압력의 적절한 작동과 제어를 보장하여 에치 프로세스를 매우 안전하고 효율적으로 만듭니다. 사용자 편의성과 유연성을 위해 ANELVA ILD-4100SR은 LCD 디스플레이, 컨트롤러, 안전 경보 자산 (Safety Alarm Asset) 등 사용자 친화적인 여러 기능에 통합되어 사용자에게 모델의 모든 장애에 대해 경고합니다. 또한 통합 통신 인터페이스 (Integrated Communication Interface) 를 통해 원격 위치에서 여러 Etcher 를 제어 및 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 CANON ILD-4100 SR은 모든 수준의 반도체 개발 및 재료 처리에 대해 매우 높은 수준의 정확성, 신뢰성 및 안전을 달성하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. 혁신적인 기능, 광범위한 작업 범위 (working range) 및 다양한 프로세스 (process) 를 통해 모든 실험실 또는 산업 공학 환경에 매우 유용하고 강력한 툴이 될 수 있습니다.
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