판매용 중고 CANON / ANELVA ILD 4100 #293814342

CANON/ANELVA ILD 4100은 반도체 기판에서 고품질 패턴과 작은 기능을 생산하기위한 에처/애셔입니다. 나노 미터 해상도 에칭을 달성하는 데 도움이되는 고출력, 고압, 가스상 에치 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 화학적으로 비활성 된 염소 함유 가스 (CCl2 F2) 를 에칭 제로 사용합니다. CANON ILD 4100 etcher/asher에는 고급 에치 헤드 디자인과 강력한 작동 장치가 포함되어 있습니다. 기계에는 전극, 노즐 가능 자석 및 유전체 창이 장착 된 공동이 포함됩니다. 이 공동 (cavity) 은 두 가지 프로세스를 가능하게한다. 첫째, 전극 사이에 높은 전위 기울기를 생성하여 기판을 향해 이온화 된 입자를 가속화하도록 설계된다. 둘째, 강력한 자기장 (magnetic field) 을 사용하여 에치 가스 흐름이 기판을 가로 질러 중심에 유지되도록 합니다. 이 도구는 또한 고전압 AC 펄스 전원과 빠른 데이터 처리를 사용하여 이온화 (ionization) 및 증착 (deposition) 프로세스를 빠르고 정확하게 제어합니다. 0.1 나노미터 정밀도로 에칭 매개변수를 프로그래밍할 수 있으므로 고해상도 디지털 패턴화 (High-resolution digital patterning) 를 사용할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 자산의 안전한 운영을 보장하기 위해 고급 소스 보호 측정 및 여러 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이 모델은 리모콘으로 작동 할 수도 있습니다. ANELVA ILD-4100은 나노 기술의 다양한 응용 프로그램 및 프로세스에 대한 훌륭한 etcher/asher입니다. 그것 은 "웨이퍼 ', 유리, 도자기 및 기타 재료 와 같은 기판 에" 나노미터' 해상도 로 정교 한 무늬 를 만드는 데 이상적 이다. 고급형 장비, 사용이 간편한 컨트롤 (control-to-use control), 공간 절약과 다양한 어플리케이션에 적합한 컴팩트한 디자인이 특징입니다.