판매용 중고 CANON / ANELVA ILD 4100 SVII-SR #293665032
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CANON/ANELVA ILD 4100 SVII-SR은 고급 기술을 사용하여 집적 회로 계층을 만드는 에처/애셔입니다. 이 기계는 재료 기판에서 얇은 회로 층을 가져올 때 높은 수준의 정밀도, 정확도, 반복 성을 제공합니다. 이 에처/애셔에는 특수 IACS (Interatomic Charged Particle Equipment) 소스가 장착되어 있으며, 이 소스는 기판에서 레이어를 빠르고 효율적으로 에칭하는 소형화 된 에쳐 역할을합니다. IACS 를 사용하면 정확한 깊이 제어 (depth control) 및 피쳐 크기뿐만 아니라, 극도의 정확도로 빠른 에칭 속도가 가능합니다. CANON ILD 4100 SVII-SR은 극저온 에칭 시스템을 사용하여 저온 재료 작업시 최적의 에칭 성능을 제공합니다. 이 "에처 '는 또한 강력 한 진공" 펌프' 로 약실 내부 의 잔재 나 입자 를 대피 시킬 수 있으며, 이 진공 "펌프 '는 각" 에칭' 과정 전 에 더 깨끗 한 시작 표면 을 만들 수 있다. 이 기계의 첨단 기술 (Advanced Technology of the Machine) 은 뛰어난 반복성으로 고해상도 (High Resolution) 패턴을 만드는 기능을 제공하여 높은 수준의 정밀도가 필요한 응용 프로그램에 적합합니다. ANELVA ILD 4100 SVII-SR에는 다중 영역 온도 제어 장치가 있으며, 내부 챔버 전체에서 정확한 온도 조절이 가능합니다. 재료 및 원하는 레이어 에칭 프로세스에 따라 다중 영역 (multi-zone) 온도는 최적의 에칭 조건과 더 정확한 결과를 보장합니다. 또한, 이 기계는 라인 너비, 포커스 범위 등 다양한 에칭 매개변수를 사용하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. 따라서 사용자는 특정 기판의 에칭 프로세스를 정확하게 조정할 수 있습니다. 전반적으로 ILD 4100 SVII-SR은 다양한 집적 회로 에칭 응용 프로그램에 사용될 수있는 고급 etcher/asher입니다. 이 기계는 높은 수준의 정확성과 반복성을 제공하여 정확하고 상세한 결과를 얻을 수 있습니다. 극저온 에칭 머신 및 다중 영역 온도 조절은 또한 대부분의 기질에 대해 완벽한 에칭 조건을 보장합니다. 조정 가능한 에칭 매개변수와 함께 CANON/ANELVA ILD 4100 SVII-SR은 모든 에칭 장비 라인업에 적합한 선택을 수행합니다.
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