판매용 중고 CANON / ANELVA ILD 4033 #9390491
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CANON/ANELVA ILD 4033은 ICD (Ionized Cluster Deposition) 기술을 사용하는 반응성 이온 에처 또는 Asher입니다. 높은 화면 비율 (HA) 과 단단한 재료를 안정적이고 경제적으로 정확하게 에칭하도록 설계된 맞춤형 머신입니다. 금속, 도자기, 안경, 반도체 및 기타 다양한 전기 및 산업 부품 에칭에 사용됩니다. CANON ILD 4033은 권한 제어 DC 에너지 공급 장치와 함께 자기 차폐 무선 주파수 (RF) 처리 챔버를 사용합니다. 전자 총 (electron gun) 은 일반적으로 다양한 크기의 이온 공급원으로, 다양한 물질 표면에서 높은 에너지 전자를 선택적으로 발사합니다. 그런 다음 프로세스 챔버에 최대 8mm (반경) 의 빔 크기로 전자 빔이 형성됩니다. 이것은 증착, 에칭 및 산화물 층의 제어를 최대화합니다. ANELVA ILD-4033 (ANELVA ILD-4033) 은 금속 및 기타 물질로 섬세한 구조를 반입하는 등 다양한 응용 분야에 일반적으로 사용됩니다. 그것 은 정밀 함 으로 "에치 '를 하도록 설계 되었으며, 사실상" 크래킹' 이나 "치핑 '을 하지 않고 깨끗 하고 정확 한" 에칭' 을 만들어 낸다. 폭 80 nm 정도의 작은 기능을 에치할 수 있습니다. 이는 복잡하고 상세한 컴포넌트를 만드는 데 유용합니다. CANON ILD-4033에는 사용 중일 때 최적의 안전을 보장하기 위해 몇 가지 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능 중 일부에는 무단 인력이 챔버에 액세스하지 못하도록 하는 안전 연동 시스템 (Safety Interlock System), 경보가 있는 과압 센서 (Over-Pressure Sensor) 및 비상 사태의 경우 시스템을 빠르게 종료하는 비상 버튼 (Emergency Button) 이 포함됩니다. 에처 (etcher) 에는 여러 개의 액세서리가 장착되어 있어 사용자에게 더욱 효과적이고 효율적입니다. 자동 웨이퍼 로더 (Automated Wafer Loader) 는 에칭 프로세스가 능률적이고 균일하며, 프로세스 컨트롤러는 매개변수를 쉽게 조정하고 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 CANON/ANELVA ILD-4033은 높은 종횡비 및 하드 재료의 정확한 에칭을위한 신뢰할 수 있고 경제적인 솔루션입니다. 사용자 정의 가능한 기능, 안전 (Safety) 기능, 유용한 액세서리를 갖춘 이 제품은 모든 기술 수준의 사용자에게 안정적이고 효율적인 에칭 솔루션을 제공합니다.
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