판매용 중고 CANON / ANELVA ILD 4033 #9258941

CANON/ANELVA ILD 4033은 주로 전자 부품 및 장치 생산에 사용되는 에칭/애싱 도구입니다. 습식 (Wet) 및 건식 에칭/애싱 (Dry Etching/Ashing) 프로세스를 모두 지원하므로 구성 요소 생산에 광범위한 응용 프로그램이 가능합니다. CANON ILD 4033에는 균일 한 에치 프로파일을위한 매우 강력한 플라즈마를 생성하는 RF 플라즈마 생성기가 있습니다. 이 발전기는 이중 주파수 캐비닛, 이중 주파수 전원 공급 장치 및 RF 플라즈마 소스로 구성되어 있으며, 광범위한 플라즈마 생성 능력을 갖춘 ANELVA ILD-4033을 제공합니다. 이 도구에는 고급 자동 전극 바이어스 조정이 장착되어 있으므로 다른 에칭/애싱 효과 (etching/ashing effect) 가 생성됩니다. 이는 전압 (electrrode voltage) 을 조정하고 사용자가 사용자 정의 에칭/애싱 매개변수를 만들 수 있게 함으로써 수행됩니다. 모델은 에칭/어싱 프로세스 동안 정확도와 속도를 최대화할 수 있도록 설계되었습니다. 기판을 고정시키는 고정밀 로터 (high-precision rotor) 장비를 사용하여 가스의 균일 한 흐름을 만듭니다. 더 높은 에치/애쉬 레이트 (etch/ash rate) 를 제공하기 위해 고압 가스 소스도 포함되어 있습니다. 이 기계는 '멀티 스테이지 플래튼 에칭 헤드 (multi-stage platen etching head)' 로 인해 여러 기질의 동시 에칭/애싱을 허용합니다. 이 기능은 여러 개의 플래튼 전극 뿐만 아니라 원하는 에치/애쉬 (etch/ash) 매개변수에 맞게 조정 할 수있는 정밀 노즐 (nozzle) 을 특징으로합니다. ILD 4033은 '고급 클리닝 모듈' 로 인해 강력한 클리닝 솔루션을 제공합니다. 이 클리닝 모듈에는 정적 드라이 클리닝 캔과 RF 유연한 클리닝 시스템이 모두 포함됩니다. 이러한 기능은 각 에칭/애싱 프로세스 후 웨이퍼 (wafer) 와 플래튼 (platen) 모두에서 잔기를 효과적으로 제거하기 위해 함께 작동합니다. 이 장비는 또한 '고급 보호 장치 (Advanced Protection Unit)' 로 인해 에치 손상에 대한 효과적인 보호를 제공합니다. 여기에는 효과적인 전압 제어를 위한 AC 전원 공급 장치가 포함됩니다. 높은 압력 수준으로 인한 진동을 방지하기위한 통합 연동 기계; 단열재의 경우, 향상된 전기 안전성을 위한 RF 고주파 발전기. 결론적으로, ANELVA ILD 4033은 전자 부품 및 장치 생산을 위해 일관되고, 안정적이며, 효과적인 솔루션을 제공하는 고도의 에칭/애싱 도구입니다. 이 제품은 다양한 에치/애쉬 (etch/ash) 기능 세트, 정확하고 빠른 회전 도구, 여러 가지 클리닝/보호 솔루션 (cleaning/protection solution) 을 갖춘 구성 요소 생산에 매우 효율적인 툴입니다.