판매용 중고 CANON ANELVA ILD 4032 #293747124

CANON ANELVA ILD-4032는 산업 응용 분야에 사용되는 에처 및 애셔입니다. 유도 플라즈마 발전기 (inductive plasma generator) 를 사용하는데, 이는 인덕터, 커플 링 플레이트 및 에칭과 재싱을위한 표적판의 조합입니다. ILD-4032에는 통일 된 가스 압력을 유지하기 위해 DC 전원 공급 장치와 연속 진공 장비 (continuous vacuum equipment) 가 장착되어 있습니다. CANON ANELVA ILD-4032는 고주파 플라즈마 생성기를 사용하며, 최대 출력은 35kW입니다. 이를 통해 안정적인 온도 분포로 5.0 mTorr 정도의 플라즈마 밀도를 생성 할 수 있습니다. 고효율의 에칭 및 애싱 능력으로 인해, ILD-4032는 매우 낮은 표면 러프 니스 (roughness) 값을 생성 할 수 있습니다. CANON ANELVA ILD-4032는 공기, 질소, 육불화 황 (SF6), 육불화 비소 (AsF6) 및 다양한 고귀한 가스를 포함한 광범위한 공정 가스를 사용합니다. ILD-4032에는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 동안 온도를 정확하게 제어하기 위해 통합 된 직접 디지털 온도 제어 시스템이 있습니다. 또한 CANON ANELVA ILD-4032에는 안전 인터 록이 장착되어 있어 운영자가 잠재적 인 위험으로부터 보호합니다. ILD-4032는 배치 및 연속 에칭 및 애싱 모두에서 작동 할 수 있습니다. 배치 장치 (batch unit) 의 프로세스는 공정 가스로 내부 챔버 (inner chamber) 를 충전하고, 대상 플레이트는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 공정을 위해 챔버 (chamber) 에 장착된다. 연속적 인 기계 의 경우, 공정 "가스 '를 연속적 으로" 가스' 에 공급 하고, 표적판 을 간헐적 으로 장착 한다. CANON ANELVA ILD-4032에는 통합 컴퓨터 제어 도구가 있으며, 이를 통해 운영자는 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 설정, 모니터링 및 제어 작업을 수행 할 수 있습니다. 에셋은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 최적화하기 위해 상세한 프로세스 보고서와 통계 정보를 제공합니다. ILD-4032 (ILD-4032) 는 시장에서 가장 강력하고 신뢰할 수있는 에처 및 애셔 시스템 중 하나이며 반도체, 마이크로 일렉트로닉스 및 생의학 산업에서 널리 사용됩니다. 다양한 기능을 갖춘 이 제품은 고품질, 비용 효율적인 에칭 (etching) 및 애쉬 (ashing) 결과를 달성하기 위한 이상적인 도구입니다.