판매용 중고 CANON / ANELVA ILD 4015 #9390493

CANON/ANELVA ILD 4015는 etcher/asher 또는 Vapor Etch Asher입니다. Vapor Etch Asher는 생산 실행 전 또는 실험실 테스트 전에 연구 개발 중 표본에서 증기 에칭 또는 에칸트 플라스틱 에칭을 수행합니다. 이 장치는 금속 유기 가스에서 작동하며, 이 가스는 챔버 외부에서 뽑은 다음 가열되어 플라즈마 (plasma) 를 만듭니다. 결과 플라즈마는 장치 내부의 표본을 에치하거나 애셔하는 데 사용됩니다. 캐논 일드 4015 (CANON ILD 4015) 는 금속, 중합체, 반도체 등 다양한 물질의 에칭 및 재싱을위한 강력한 도구입니다. ANELVA ILD 4015는 고급 FET (Floating Electrode Technology) 애싱 원리를 사용하여 금속 유기 가스를 가열하여 에칭과 재싱을위한 플라즈마를 만듭니다. "플로우팅 '전극 은" 에치' 할 물질 과는 다른 거리 에 위치 해 있으며, 공정 중 에 "플라즈마 '의 균일 한 분포 를 가능 케 한다. FET 시스템은 에칭 시간과 애싱 시간 모두에서 탁월한 균일성을 제공합니다. 이 기술을 사용하면 현지화 된 영역 또는 선택적 에칭을 달성 할 수 있습니다. ILD 4015에는 정전기 척 (electrostatic chuck) 이 장착되어 있어 재싱 전에 웨이퍼를 정확하게 배치 할 수 있습니다. 최대 200mm x 300mm 크기의 직사각형 표본을 처리 할 수 있으며, 배치 당 최대 5 개의 단위를 처리 할 수 있습니다. 또한 CANON/ANELVA ILD 4015에는 3 x 10-6Pa의 기본 진공을 제공하는 강력한 진공 펌프가 장착되어 있습니다. CANON ILD 4015는 디지털 에처입니다. 온보드 마이크로 프로세서와 사용자 친화적 인 터치 스크린 인터페이스가 제공됩니다. 디지털 디스플레이 (Digital Display) 는 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 프로세스 중 압력, 온도 및 시간을 표시하여 프로세스 조건 및 챔버 대기를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 결론적으로, ANELVA ILD 4015는 고급 기술과 직관적인 사용자 친화적 인 컨트롤을 갖춘 고성능 etcher/asher입니다. 공정을 정확하게 제어하는 동시에, 다양한 재료의 효율적인 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 가능하게 합니다. ILD 4015의 다용도 및 성능은 모든 연구 또는 생산 실험실에 유용한 도구입니다.