판매용 중고 CANON / ANELVA ILD 4015 #9226110

CANON / ANELVA ILD 4015
ID: 9226110
웨이퍼 크기: 6"
Oxide etcher, 6".
CANON/ANELVA ILD 4015는 현대 생산 시설의 요구에 맞게 설계된 다재다능한 에처 및 애셔입니다. 다양한 산업 공정에 사용할 수 있는 고품질 에칭 (etched) 도구를 생산합니다. 이 장비는 대규모 작동 플랫폼, 고급 열 시스템, 직관적 인 그래픽 인터페이스를 이용합니다. CANON ILD 4015는 고정밀 에처/애셔입니다. 작동 플랫폼은 400 x 250 mm이고 최대 필드 크기는 400 x 250 또는 300 x 300 mm입니다. 이 기계는 플랫 사각형 (flat square), 플랫 라운드 (flat round), 작은 플랫 (small flat) 및 최대 두께가 8mm인 긴 라운드 (long round) 모양과 같은 다양한 가공소재를 수용할 수 있습니다. 작업 테이블은 동력이 공급되며 X, Y 및 Z축으로 구동 할 수 있습니다. 이 장치의 가속 및 감속 속도는 45m/min이며 이동 속도는 최대 0.6m/min입니다. ANELVA ILD 4015는 최대 20 유속/분으로 에치 할 수 있습니다. 또한 고객의 요구에 따라 에칭 프로세스를 조정하기 위한 다양한 에칭 매개변수 (예: 펄스 너비, 파장, 반복 주파수, 펄스 기간) 를 제공합니다. 또한, 사고 노출로부터 직원을 보호 할 수있는 내장 레이저 안전 기계가 있습니다. ILD 4015에는 가공소재를 세척하기위한 열 도구가 장착되어 있습니다. 또한 발진 속도 (ashing rate) 를 정확하게 제어 할 수있는 온도 센서가 특징입니다. 온도 범위는 최대 800 ° C이며, 정확한 프로세스 제어를 위해 통합 PC 기반 컨트롤러가 장착되어 있습니다. CANON/ANELVA ILD 4015에는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 있어 쉽게 작동할 수 있습니다. 에셋에는 시스템의 현재 상태 (status of the machine) 를 나타내는 몇 가지 경고 표시등이 있으며, 고객의 요구에 따라 설정을 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 원격 모니터링 및 유지 관리를 위해 모델을 인터넷에 연결할 수 있습니다. CANON ILD 4015는 현대 산업 생산을위한 강력하고 다재다능한 에처/애셔입니다. 가속 및 감속 속도가 빠른 대형 작업 플랫폼을 가지고 있으며, 최대 속도 (20 유속/분) 로 에치 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 발진 속도 (ashing rate) 를 정확하게 제어하는 온도 센서를 가지고 있으며 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (graphical user interface) 를 갖추고 있습니다. 장비는 인터넷에 연결되어 원격 모니터링 및 유지 보수가 가능합니다. ANELVA ILD 4015를 사용하면 생산 시설에서 쉽게 고품질 도구를 만들 수 있습니다.
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