판매용 중고 CANON / ANELVA ILD 4013 #293747123

CANON/ANELVA ILD 4013은 산업용으로 설계된 정밀 에처/애셔입니다. 이 기계는 유리, 세라믹, 폴리머, 금속 등 다양한 재료를 에치 할 수있는 다기능 정밀 에처/애셔입니다. 강력한 내성을 가진 고속, 고밀도 에칭 및 애싱 (ashing) 작업을 위해 특별히 설계되었습니다. CANON ILD 4013에는 스퍼터 에칭 챔버 (sputter etching chamber) 가 있으며 최대 1,000 와트의 전력과 140-630 ° C 사이의 온도 작동 범위가 가능합니다. 더 큰 부품을 수용하기 위해 챔버 길이 180mm, 너비 165mm로 설계되었습니다. 에칭 챔버에는 3 개의 20GHz 정전기 렌즈가 장착되어 있으며, 다양한 재료에 우수한 해상도와 에지 정의를 제공합니다. 또한 저전압 건조기를 특징으로하며, 노즐 콘센트 온도는 20-200 ° C 사이이며, 향상된 에칭 및 서피스 Planarization을 위해 사용됩니다. ANELVA ILD-4013에는 정밀 증착 시스템이 장착되어 있으며, 이는 유기 및 무기 물질을 증착시키기 위해 0.3 m 해상도를 할 수 있습니다. 두께는 최대 0.3mm, 최소 필름 두께는 0.1 미터입니다. 정밀 증착 시스템은 또한 최대 100: 1의 높은 종횡비를 허용합니다. 유도 결합 플라즈마 에칭 기술을 특징으로하며, 급속한 에칭을 달성하기 위해 최대 10sccm의 가스 유량을 제공합니다. 이 기계에는 압력 범위 제어, 과압 안전 밸브, 비활성 가스 대기, 비상 차단 스위치 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이 기계는 또한 환경 친화적이며, 에칭 조작으로 생성 된 폐기물을 줄이기 위해 화학 복구 시스템 (chemical-recovery system) 으로 설계되었습니다. ILD-4013은 매우 효율적이고 안정적인 정밀도 에처/애셔 (etcher/asher) 로 다양한 에칭 및 애싱 어플리케이션에 적합합니다. 이 제품은 다양한 재료를 사용하도록 설계되었으며, 정확한 에지 정의 (edge definition) 와 고해상도 에칭 (etching) 결과를 얻도록 설계되었습니다. 강력한 구성과 안정적인 성능을 갖춘 ILD 4013은 모든 산업 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.