판매용 중고 CANON / ANELVA ILD 4003M #9111256

CANON/ANELVA ILD 4003M etcher/asher는 다양한 산업 마이크로 제조 응용 분야에 적합한 고성능 드라이 에칭 장비입니다. 실리콘, 박막 등 다양한 재료의 마이크로 구조 및 마이크로 머신 (micro-structuring and micromachining) 을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 반응성 이온 에칭 (RIE) 을 사용하여 높은 종횡비 미세 구조를 만듭니다. CANON ILD 4003M은 긴 수명 주기, 효율적이고 안정적인 성능, 낮은 재료 소비를 특징으로합니다. ANELVA ILD 4003M은 고진공 열 에칭 기능 덕분에 기존 시스템보다 이온 에너지를 낮출 수 있습니다. 마그네트론 기반 "콜드 (cold)" 소스 기술을 사용하여 기판 표면에서 효율적인 이온 빔 증착을 보장합니다. 이 장치에는 산소 청소, 하드 마스크 증착, 광택, 에칭 및 금속 에칭 (etching) 을 포함한 전처리 단계 및 후처리 단계에 대한 광범위한 프로세스 전제 조건 매개 변수와 기능이 장착되어 있습니다. ILD 4003M의 IPFC (Integrated Process Frequency Control) 및 Plasma Focusing은 반응성 이온 에칭을 향상시키고 정밀도를 높여 고품질 및 반복 가능한 장치 기능을 제공합니다. 또한 CANON/ANELVA ILD 4003M은 뛰어난 에치 균일성, 작은 기능 크기 및 높은 에치 속도를 제공합니다. 또한 아르곤, 이산화탄소, 산소 및 수소를 포함한 다양한 에칭 가스를 지원합니다. CANON ILD 4003M은 광범위한 프로세스 조건을 제공하여 리소그래피, 3D 형성, MEMS 및 기타 microfabrication 프로세스를 포함한 다양한 응용 프로그램과의 호환성을 보장합니다. 직관적인 LCD 터치 패널 인터페이스를 통해 에칭 프로세스를 손쉽게 작동하고 관리할 수 있습니다. 또한 ANELVA ILD 4003M 에는 효율성을 보장하고 다운타임을 최소화할 수 있는 원격 모니터링 기능이 내장되어 있습니다. 전반적으로 CANON ILD 4003M은 다양한 응용 프로그램에서 고품질 미세 구조를 달성하기위한 이상적인 에칭 머신입니다. 이 도구의 최첨단 기능과 첨단 기술 (Advanced Technologies) 은 업계의 마이크로패브레이션을 위한 안정적이고 강력한 도구입니다.