판매용 중고 CANON / ANELVA ILD 1060 #9111594

CANON/ANELVA ILD 1060은 CANON Corporation에서 제조 한 고정밀 에처/애셔입니다. 이 장비는 다양한 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 위해 고급 드라이 에칭 (dry etching) 및 이온화 된 물리적 스퍼터링을 제공합니다. 이 시스템은 높은 배율 광학 장치 (optical unit) 를 사용하여 이온 빔에 정확하게 초점을 맞추고 더 낮은 기판 손상으로 더 높은 처리 정확도를 제공합니다. 이 기계는 정밀 선형 드라이브 서보 모터가 장착 된 통합 4 축 동작 도구로 제작되었습니다. 정확하고 반복 가능한 에칭 프로세스를 제공하여 높은 정확도를 제공합니다. DVMC (Direct Vibration Motion Compensation) 는 외부 진동에 대응하여 최소한의 변동으로 초미세 에칭을 제공합니다. 캐논 일드 (CANON ILD) 1060은 폭이 2 미크론, 깊이가 40 나노미터 인 특징을 에칭 할 수 있기 때문에 실리콘 웨이퍼에 초미세 패턴을 생성 할 수 있습니다. 이 에셋은 다중 레이어 프로세스 (multi-layer process) 에 사용될 수 있습니다. 즉, 레이어의 무결성을 손상시키지 않고 다른 재료 레이어를 통해 에칭할 수 있습니다. 이 모델은 초박형 필름 에칭 (etching) 기술을 사용하여 자동화된 상향/하향 방향 프로세스를 갖추고 있으며, 고밀도 에칭을 추가하면서 균일성 (unifority) 과 프로세스 웨이퍼 (wafer) 손상을 줄입니다. 이 장비는 또한 조절 가능한 로컬 난방 시스템 (Adjustable Local Heating System) 을 사용하여 건조 해시 (Dry Ashing) 를 할 수 있으며, 기판 표면에 최대 1000W의 전력을 제공 할 수 있습니다. ANELVA ILD 1060은 산소, 아르곤, 질소를 포함한 다양한 공정 가스와 호환됩니다. 내부 스크러버 입자 단위는 오염을 줄이고 우수한 웨이퍼 클리닝을 보장합니다. 이 시스템에는 원격 모니터링 및 제어가 가능한 현장 원격 인터페이스도 포함되어 있습니다. 결론적으로, ILD 1060은 강력하고 정확한 etcher/asher 도구로서 다양한 편리한 기능을 제공합니다. 종합적인 엔드 투 엔드 (end-to-end) 원격 기능과 결합된 높은 정확도의 미세 패턴 (fine pattern) 을 만드는 능력은 드라이 에칭 (dry etching) 과 이온화 된 물리적 스퍼터링 프로세스의 최전선에 위치합니다.