판매용 중고 CANON / ANELVA I-42230 #9236119

CANON/ANELVA I-42230은 웨이퍼 준비를위한 금속 플라즈마 이온 에처/애셔 도구입니다. 다양한 웨이퍼 기판에서 알루미늄, 구리, 금과 같은 금속의 현장 에칭, 청소 및 스트립을 위해 설계되었습니다. CANON I-42230에는 진공 및 가스 공급, 다중 높이 웨이퍼 조작기 및 MPS (high-vacuum Metal Plasma Source) 가있는 단일 챔버 구성이 있습니다. MPS는 커패시터로 구동되는 양극과 2 개의 전극 고리를 특징으로하며, 에칭을위한 이온 빔을 생성합니다. 양극은 고속 텅스텐 와이어 (tungsten wire) 로 만들어지며, 전극 2 개의 고리는 알루미늄 껍질과 구리 고리로 구성됩니다. ANELVA I-42230은 웨이퍼 표면, 깨끗한 금속 표면 및 웨이퍼에서 스트립 금속을 에칭 할 수 있습니다. 광범위한 프로세스 매개변수 및 조건에 적합합니다. I-42230에는 가변 질량 흐름 컨트롤러 (variable mass flow controller) 가 장착되어 있어 에칭 및 청소 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. CANON/ANELVA I-42230의 에치 시간은 프로세스, 웨이퍼 표면적 및 필름 두께에 따라 약 1 분에서 몇 분 사이입니다. 또한 약 4 "마이크로 미터 '보다 두꺼운" 웨이퍼' 를 처리 하는 데 사용 할 수 있다. 최대 에치 속도는 최대 1.0 µm/min, 최대 공정 온도는 500 ° C입니다. CANON I-42230은 진공 범위가 50 ~ 8 x 10-5 Pa입니다. 질소와 산소 수소, 아르곤 및 산소 수소 중 최대 2 개의 공정 가스가 가능합니다. 에칭에는 12kW, 애싱 프로세스에는 36kW, 프로세스 압력 범위는 0.3 ~ 30mbar입니다. 안전성을 위해 ANELVA I-42230에는 가스 흐름 및 공정 조건을 모니터링하는 센서가 장착 된 화재 경보 시스템이 있습니다. 이 시스템은 중앙 제어 시스템 (Central Control System) 에 연결되어 위험을 경고합니다. I-42230에는 비상 정지 스위치와 지상 결함 격리 회로 차단기가 있습니다. CANON/ANELVA I-42230은 설치와 작동이 간편합니다. 또한 성능에서 신뢰성이 높으며 시장에서 가장 경제적인 플라즈마 에칭/애셔 (plasma etching/asher) 도구 중 하나로 알려져 있습니다. 이 에처/애셔 도구는 웨이퍼 제조, MEMS/MOEMS 프로세스 및 집적 회로 제조에 이상적입니다.