판매용 중고 CANON / ANELVA I-4100 SVII #9158755

CANON/ANELVA I-4100 SVII는 정밀 플라즈마 에칭, 애싱 및 웨이퍼 처리를 위해 설계된 에처 애셔입니다. 이것은 많은 응용프로그램의 반도체 웨이퍼 (wafer) 처리를 위한 선도적인 선택이 된 고효율의 도구다. 이 장비는 최대 유연성을 위한 모듈식 (modular) 설계로, 배선 재연결이 필요 없이 4 개의 챔버를 순서대로 연결할 수 있습니다. 4 개의 챔버 (chamber) 는 직관적인 제어 장비에 연결되어 자동화된 프로세스를 손쉽게 생성, 모니터링할 수 있도록 하며, 각 프로세스의 정확성과 균일성을 보장합니다. 이 장비는 완전한 공간 절약 디자인을 특징으로하며, 성능은 저하시키지 않고 공간이 제한됩니다. etcher-asher에는 HFD (High Frequency Drive) 와 HVPS (High Voltage Power Supply) 가 장착되어 있습니다. HFD는 500kHz로 실행되어 다양한 플라즈마 처리 응용 프로그램 (Plasma Processing Application) 을 다양한 웨이퍼에서 수행 할 수있는 힘을 제공합니다. 이 시스템에는 또한 다양한 웨이퍼 (wafer) 에서 균일 한 플라즈마 처리를 허용하는 UPS (Uniform Processing Unit) 가 있습니다. CANON I-4100 SVII는 etcher-asher의 시퀀싱 및 상태를 모니터링하는 안전 탐사기 (Safety Probe) 및 역방향 제어 시스템 (Reverse Control Machine) 을 내장하여 안전과 유지 관리를 염두에 두고 설계되었습니다. 여러 가지 "액세서리 '가 이 도구 를 환경 에 친절 하게 만드는데, 특별 한 통풍구 로" 가스' 와 "가스 '를 작업 구역 에서 제거 한다. 이 에처 애셔 (etcher-asher) 의 설계는 정확하고 재현 가능한 프로세스를 가능하게하여 부품마다 변형을 줄입니다. 이 기기는 고급 소프트웨어 자산 (advanced software asset) 을 특징으로하며, 각 프로세스에 대한 사용자 정의 설정, 동기화 및 제어가 가능합니다. 프로세스를 자동화하고 시간 낭비를 제한하는 기능을 갖춘 ANELVA I-4100 SVII는 반도체 웨이퍼 처리에 이상적인 선택입니다.