판매용 중고 CANON / ANELVA I-2100 #293754407

CANON/ANELVA I-2100은 CANON 및 ANELVA, Inc.에서 제조 한 에처/애셔 모델입니다. CANON I-2100은 고급 고성능 에처/애셔 장비입니다. 이 모델은 Si microfabrication의 생산에 사용됩니다. 플라즈마 발전기, 진공 챔버 및 배기 송풍기를 사용하여 Si 집적 회로 (IC) 표면의 회로 패턴을 에치합니다. 또한, 이 시스템은 원치 않는 표면 재료 (예: 광저항 잔기, 유기 오염 물질 및 기타 원치 않는 잔기) 를 분쇄 할 수 있습니다. ANELVA I-2100은 이중 플라즈마 생성 장치를 사용하여 스퍼터 및 에칭 기능을 최대화합니다. 에칭 과정에서 이온화 된 플라즈마 (Ionized Plasma) 는 Si에서 표면 패턴 형성을 유발합니다. 이 프로세스는 대상 레이어를 효과적으로 제거하고 나머지 잔기는 지표면에서 파쇄되거나 파묻힌다. 이 기계는 4 개의 외부 가스 원, 최대 715 Celsius, 최대 1,000 mbar의 챔버 압력을 사용하여 가장 거친 Si 기반 재료를 가져올 수 있습니다. 또한이 도구에는 조정 가능한 RF 듀티 사이클 (Duty Cycle) 과 멀티 스테이지 프로세스를 허용하기위한 추가 기능이 있습니다. I-2100 의 PC 제어 센터 (Computerized PC Control Center) 는 에칭 및 애싱 성능을 모니터링하는 방법을 제공하며, 에칭 및 애싱 성능을 최적화하기 위해 자산 매개변수를 제어할 수 있습니다. CANON/ANELVA I-2100 etcher/asher 모델은 빠른 프로토타입, 기능 밀도 향상 및 MEMS 제작에 이상적인 도구입니다. 강력한 성능, 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능, 조정 가능한 매개 변수가 엔지니어와 디자이너들 사이에서 선호됩니다. 고급 PC 제어 센터 (PC Control Center) 와 여러 가스 소스 (Gas Source) 를 통해 다른 시스템 및 프로세스와 쉽게 통합하여 효율성을 극대화할 수 있습니다.