판매용 중고 CANON / ANELVA I-2100 SRE #293666068

CANON/ANELVA I-2100 SRE는 산업 및 연구 응용 프로그램 모두에 대한 고급 표면 처리의 요구를 충족시키기 위해 개발 된 고정밀 에처/애셔입니다. 이 장치는 최첨단 기능을 갖추고 있으며 뛰어난 정확성과 반복성으로 고품질 에칭 (etched) 또는 에칭/광택 (etched/polished) 표면을 생산할 수 있습니다. CANON I-2100 SRE에는 에치와 애셔에 모두 고압 진공 기능, 2 개의 독립적 인 가스 흐름 시스템 및 컴퓨터 제어 조명 장비가 포함되어 있습니다. 또한 이온 빔 발전기 (ion beam generator) 와 프로세스 영역 전체에서 균일 한 가스 압력과 온도를 보장하는 자동 제어 시스템 (automatic control system) 이 있습니다. 프로세스 챔버 내에서 사용되는 연소 가스 (Combustion Gase) 는 정확한 압력 제어를 위해 모니터링되며, 컴퓨터는 데이터 로깅, 처리 및 프로세스 제어를 위해 연결됩니다. ANELVA I-2100 SRE에는 Si, Al2O3, Cr, Ta, TiC + Si, TiN + Si 등을 포함하여 다양한 에칭 및 애싱 재료가 있습니다. 사전 프로그래밍된 매개변수를 사용하여 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 할 수 있도록 설계되었습니다. 다양한 애플리케이션 요구 사항에 적합한 다양한 설정을 사용합니다. 또한, I-2100 SRE에는 스퍼터링 (sputtering) 으로 인한 프로세스 챔버의 성능 저하를 보호하는 통합 아크 억제 장치가 있습니다. 또한 ICP 도구와 같은 외부 시스템과 통합하여 현장 에칭 (in-situ etching) 을 가능하게 할 수 있습니다. CANON/ANELVA I-2100 SRE에는 수정 편향 제어, 2 차 가스 입구, 배기 콘센트 및 추가 벨 항아리와 같은 다양한 옵션 기능도 있습니다. 이들은 프로세스 수율을 개선하고 프로세스 챔버를 깨끗하게 유지하도록 설계되었습니다. 마지막으로, CANON I-2100 SRE는 뛰어난 안전 기능, 낮은 유지 관리 설계, 손쉬운 작동을 갖춘 안정적이고 견고한 etcher/asher입니다. 이 장치는 다양한 옵션 기능을 갖춘 수동/컴퓨터 제어 버전으로 제공됩니다. 전반적인 성능은 종종 다른 에처/애셔보다 우수합니다.