판매용 중고 CANON / ANELVA DEM-451 #9055187

CANON/ANELVA DEM-451은 마이크로 스케일 표면 및 재료 처리에 사용되는 습식 에칭 및 애싱 드라이 에처입니다. 기판 준비, 장치 제작, 마이크로 컨택트 인쇄, 3D 인쇄 등 다양한 응용 프로그램 및 재료에 적합한 2 가지 처리 장치가 있습니다. 습식 에칭 장치에는 슬러리 탱크와 가변 압력 펌프가 있습니다. 이 단위는 전체 에칭 (etched) 영역에 균일 한 압력을 가하여 정밀도와 정확도를 높입니다. 슬러리 탱크는 KOH, TMAH, HF 솔루션과 같은 다양한 혼합물과 맞춤형 반응물을 적재 할 수 있습니다. 액체 유량 (liquid flow rate) 과 압력 (pressure) 을 모두 조정하여 원하는 에칭 매개변수를 달성할 수 있습니다. 온보드 PC를 사용하여 에치 속도를 자동으로 모니터링할 수 있습니다. CANON DEM-451의 애싱 드라이 에칭 유닛은 진공 챔버 및 여러 플라즈마 소스로 구성됩니다. 진공은 세척 과정을 위해 깨끗하고 안정적인 환경을 제공합니다. "플라즈마 '의 근원 들 은 필요 에 따라 집중력 이 있고 균일 한" 플라즈마' 를 생성 하여 완전 한 발진 결과 를 가져다 준다. 애싱 프로세스 매개변수는 처리할 재료와 일치하도록 사용자정의할 수 있습니다. 이러한 매개 변수에는 산소, 아르곤, 헬륨 또는 CF4와 같이 사용되는 에치 속도, 시간 및 가스 유형이 포함됩니다. 이 고급 에처 (advanced etcher) 는 배치 처리를 위해 설계되었으며 최대 19 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있습니다. ANELVA DEM-451은 현미경 표면 및 재료를 에칭하고 ashing하기위한 다재다능하고 정확한 도구입니다. 또한 안정적이고 견고한 설계를 통해 까다로운 마이크로프로세싱 (microprocessing) 어플리케이션에 탁월한 성능을 제공합니다. 사용자 친화적 인 제어 시스템은 직관적인 인터페이스 및 프로세스 자동화를 제공합니다. 강력한 기능, 유연성, 정밀도를 통해 기판 준비, 장치 제작, 마이크로컨팩트 인쇄 및 3D 인쇄에 이상적인 선택입니다.