판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 001-8200-89 #293664916

ID: 293664916
Load lock chamber.
브룩스 자동화 001-8200-89 (BROOKS AUTOMATION 001-8200-89) 는 첨단 마이크로 전자 제품의 제조에 사용되는 장비 인 에처/애셔입니다. 이것은 박막, 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer), 폴리머 (polymer) 와 같은 패턴 기질의 에칭 및/또는 재를 생산하기 때문에 반도체 산업에서 중요한 기계입니다. 8200-89는 반도체 및 포장 요구를 모두 충족하도록 설계되었습니다. 8200-89는 수동 에처에 비해 다양한 장점을 가지고 있습니다. 자동 기판 로딩 (Automated Substrate Loading), 수많은 주변 장치 및 명령 제어 시스템 (Plethora of Peripheral and Command Control System) 등 다양한 옵션이 있는 자동 플랫폼이 특징입니다. 또한, 8200-89 는 수동 구동 시스템보다 주어진 기간 동안 더 많은 기판을 처리 할 수 있습니다. 따라서 대용량 배치 처리에 이상적입니다. 8200-89는 구성 가능한 장비입니다. 0.5 미터에서 20 미터의 다양한 모양과 크기의 에칭을 생성 할 수 있습니다. 에칭 프로세스의 부식성 환경은 밀폐된 시스템 내에 포함되고 제어됩니다. 이 장치는 또한 기판의 정확하고 재현 가능한 처리를 허용하는 온도 및 압력 제어 (pressure control) 를 특징으로합니다. 또한 8200 ~ 89 는 정밀 에칭 기능 외에도 운영 제어 및 모니터링 (monitor) 과 관련된 다양한 기능을 제공합니다. 이 제품은 손쉽게 모니터링하고 기록을 보관할 수 있도록 통합된 데이터 입력 (entry and recall) 머신을 갖추고 있습니다. 또한, 이 장치는 온라인 및 오프라인 데이터 로거를 통해 프로세스 모니터링을 제공합니다. 이 데이터는 평가 및 문제 해결을 위해 다른 시스템으로 전송될 수 있습니다. 이 도구에는 안전 기능 (예: 인력과 제품을 보호하기 위한 여러 보호 장치) 이 장착되어 있습니다. 개방형 설계 외에도 8200-89 는 UL, CSA, NEC 안전 규정을 준수하여 보호하도록 설계되었습니다. 최적 성능을 유지하기 위해 기계에는 자동 클리닝 시스템 (Automatic Cleaning System) 과 임박한 위험 (Impending Hazard) 이 발생할 경우 직원에게 경고하는 경고 시스템 (Warning System) 도 장착되어 있습니다. 8200-89 의 설계는 사용 편의성, 신뢰성 있는 성능, 유지 보수 편의성 등 기존 업계 원칙을 기반으로 합니다. 통합된 설계를 통해 자산이 작동하기 쉽고, 필요에 따라 효율적인 서비스/수리 (서비스 및 수리) 를 보장할 수 있습니다. 이를 통해 8200-89 는 대용량 생산 및 첨단 마이크로일렉트로닉스 개발에 이상적인 선택이 됩니다.
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