판매용 중고 BRANSON L3100/3 #9124208

제조사
BRANSON
모델
L3100/3
ID: 9124208
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1989
ICP asher, 8" 3000C Controller 1989 vintage.
BRANSON L3100/3은 인쇄 회로 기판, 반도체 웨이퍼 및 기타 유사한 표면의 정확한 고성능 에칭 및/또는 재시에 사용되는 etcher/asher입니다. 이 장치는 조절 가능한 에치 깊이, 조정 가능한 필라멘트 온도, 스팟 크기 140 "m ', 에치 지속 시간 (최대 20 분) 및 최대 10" 웨이퍼' 와 같은 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 또한 최대 10 개의 기판을 동시에 처리 할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 마이크로 일렉트로닉스 응용 프로그램을 위해 설계되었으며 클린 룸 환경에 통합 될 수 있습니다. BRANSON L3100/3은 에치 (etched) 및 애쉬 (ashed) 기능의 높은 정밀도, 속도 및 반복성을 제공하기 때문에 칩 레벨 프로세스 응용 프로그램에 이상적입니다. 전기로 구동되며 32 인치 폭의 전동 캐리지에서 작동합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 평평한 비 다공성 표면을 가지고 있으며, 이는 기판에 전자기 복사의 영향을 줄이는 데 도움이됩니다. 또한 4 개의 전극에 쉽게 액세스 할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 원하는 값에 따라 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 조정할 수 있습니다. 높은 에치 속도를 보장하기 위해 -2.1 ~ 3.3mbar 사이의 압력으로 작동하며, 정확한 온도 조절을위한 통합 온도 컨트롤러 (integrated temperature controller) 가 특징입니다. etcher/asher에는 장치에 맞게 만들어진 바구니가 제공됩니다. 이 바구니는 단일 배치에 최대 10 개의 기판을 보관합니다. 조정 가능한 클램핑 압력 조정으로 빠르게 로드 및 언로드할 수도 있습니다. 조절 가능한 클램핑 압력은 기판 크기나 유형에 관계없이 균일 한 에칭 (etching) 프로세스를 허용합니다. 또한, 질소 "가스 '의 사용 은 공정 중 에 기질 의 산화 를 피하는 데 도움 이 된다. etcher/asher 는 사용자가 장치의 모든 기능에 액세스할 수 있는 터치 스크린 제어판 (touch screen control panel) 을 포함합니다. 인터페이스는 에처/애셔 (etcher/asher) 를 쉽게 조작할 수 있으며, 매개변수를 설정하고 에칭/애싱 프로세스를 수행할 수 있는 선명하고 직관적인 메뉴를 제공합니다. 결과는 차트 기록에 인쇄되어 추가 분석을 할 수 있습니다. 안전한 에칭 작업을 위해 BRANSON L3100/3 etcher/asher에는 안전 컷오프 (Safety Cut-off) 스위치가 장착되어 있습니다. 이 스위치는 오버로드가 있거나 매개변수 설정이 안전 작동 제한을 초과하는 경우 장치를 종료합니다. 또한, 유지 보수 작업이 크게 필요하지 않은 유지 보수 (low-maintenance) 설계를 통해 디바이스의 다운타임을 줄일 수 있습니다.
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