판매용 중고 BRANSON / IPC RIE #161812

제조사
BRANSON / IPC
모델
RIE
ID: 161812
ICP Etcher Manual included.
BRANSON/IPC RIE (Reactive Ion Etching) 는 반도체 및 미세 전기 기계 시스템 (MEMS) 을 제작하기위한 에처/애셔입니다. 다양한 감도, 높은 처리량, 낮은 TCO (총소유비용) 를 자랑하는 고정밀 플라즈마 에처입니다. IPC RIE는 RF 에너지 (RF Energy) 에 의해 생성 된 플라즈마를 기판 표면에 증착시켜 소액 기능을 물질에 빠르게 에칭함으로써 작동합니다. BRANSON RIE는 3.5 kHz ~ 130 MHz 주파수 범위를 갖추고 있으며 다양한 가스 유형, RF 제어 및 프로세스 제어 기능을 제공하여 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. RIE는 0.5-100 mTorr의 챔버 진공을 사용하며, 각 챔버는 10-5 및 10-6 Torr의 진공에 도달 할 수 있으며, 정밀 에칭 및 증착에 충분합니다. 챔버는 25 발까지 처리 할 수 있으며 Argon, CF4, Cl2, O2 및 specialized 등과 같은 다양한 모드에서 실행할 수 있습니다. BRANSON/IPC RIE는 또한 순차 및 동시 양방향 에칭을 통해 에치 기능이있는 통합 MCMT 프로세스를 제공합니다. 이를 통해 미세 피쳐 해상도 (Fine Feature Resolution) 와 서피스 마무리 (Surface Finish) 를 유지하면서 프로파일 제어, 프로세스 반복성, 매우 빠른 처리 시간을 향상시킬 수 있습니다. IPC RIE는 또한 최소한의 노력으로 쉽게 조정 할 수있는 조정 가능한 압력 제어 시스템을 제공합니다. 브랜슨 리에 (BRANSON RIE) 는 얇은 필름 및 MEMS 장치 배치, 트렌치, 홈, 비아 에칭 및 사파이어, 알루미늄, 실리콘을 포함한 다른 재료를 에칭하는 등 다양한 응용 분야에 사용할 수있는 안정적이고 견고한 에처입니다. 복잡하고 정밀도가 높은 장치. RIE 는 사용자 친화적이며, 습식 에칭 시스템에 비해 다양한 기술적 이점을 제공합니다. 요약하면, BRANSON/IPC RIE는 반도체 및 MEMS 제조에 사용되는 고성능 에처/애셔입니다. 다양한 가스형 (gas type) 과 RF 제어 (RF control) 를 사용하여 에치 (etch) 및 예금 기능을 포함하여 다양한 기능과 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 또한 처리 시간, 반복 가능성, 조절 가능한 압력 제어 (Pressure Control) 기능을 제공하여 다양한 응용 프로그램에 적합한 툴입니다.
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