판매용 중고 BRANSON / IPC Reactor center PM-11220 #9173380

BRANSON/IPC Reactor center PM-11220은 고급 마이크로 세공 공정을 위해 설계된 다기능 에처 및 애셔 장비입니다. 모듈식 (modular) 설계를 통해 사용자는 다양한 소스와 신뢰할 수 있는 처리 모듈을 통합하여 운영 효율성을 향상시킬 수 있습니다. 원자로 센터는 주로 미세한 구조와 성분의 에칭 및 재싱에 사용됩니다. 고성능 RF 소스가 장착되어 있으며, 작동 면적이 40cm (40cm) 이므로 대규모 에칭 및 애싱 (ashing) 이 가능합니다. 이 시스템은 또한 단일 작업에서 최대 12 개의 서로 다른 기판을 일괄 처리할 수 있으며, 이는 기판 구성이 다르기 때문에 성능 불일치 위험을 줄입니다. 8 구역 가스 전달 장치는 탄소 증착을 줄이고 우수한 공정 제어를 제공하는 헬륨 가스 워시 (helium gas wash) 를 특징으로합니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어 인터페이스를 사용하면 가스 농도, 압력, 온도, 전력 등 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 더욱 조정할 수 있습니다. 이 기계는 실리콘, 페라이트, 석영, 사파이어 등 여러 종류의 재료를 에칭 및 재싱하는 데 사용할 수 있습니다. 원자로 센터 (Reactor Center) 는 매우 정밀하고 정확하기 때문에 작고 복잡한 장치 구조를 포함하는 마이크로 패브라이션 (microfabrication) 프로세스에 적합합니다. 또한 인사이트 (in-situ) 모니터링 기술을 통해 오염 및 생산 병목 현상 위험을 최소화합니다. IPC Reactor Center PM-11220 (PM-11220) 은 기능과 정밀도의 조합으로, 고급 마이크로패브라이션 어플리케이션을 위한 고품질, 신뢰할 수 있는 에칭 및 애싱 성능을 원하는 사람들에게 이상적인 선택입니다.