판매용 중고 BRANSON / IPC PM 1813 #293740224

BRANSON/IPC PM 1813은 반도체 제조 및 재료 연구 산업에서 정확하고 통제 된 에칭 및 청소 프로세스를 위해 설계된 고급적이고 효율적인 플라즈마 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 IPC 및 BRANSON (Integrated Process Control) 의 최첨단 기술과 검증된 신뢰성을 결합하여 플라즈마 처리 어플리케이션에서 뛰어난 성능과 유연성을 제공합니다. IPC PM 1813 장치는 컴팩트하고 견고한 설계를 통해 기존 생산 라인 또는 연구 시설에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 다재다능한 플랫폼은 광범위한 공정 화학 물질 및 기질을 지원하므로 포토 esist 제거, 표면 청소, 유전체 에칭, 재료 수정 등 다양한 응용 분야에 이상적입니다. BRANSON PM 1813 기계의 주요 하이라이트 중 하나는 고급 플라즈마 생성 및 제어 기능입니다. 이 도구는 고주파 RF (무선 주파수) 전원을 사용하여 공정 챔버 내에 저압 플라즈마를 만듭니다. 이어서, "플라즈마 '는 높은 정밀도 와 균일성 으로 기판 표면 에 있는 물질 들 을 선택적 으로 에치 (etch) 하거나 재 (ash) 하는 데 사용 된다. PM 1813 (PM 1813) 자산은 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족하도록 손쉽게 조정, 최적화할 수 있는 다양한 프로세스 매개 변수를 제공합니다. 이러한 매개 변수에는 가스 유량, 압력, RF 전력 수준, 온도 및 프로세스 기간이 포함됩니다. 이 모델의 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 소프트웨어 제어 (software control) 를 통해 운영자는 원하는 프로세스 결과를 달성하기 위해 이러한 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 세밀하게 조정할 수 있습니다. BRANSON/IPC PM 1813 장비는 탁월한 프로세스 제어 기능 외에도 고급 안전 (Safety) 기능과 장비 보호 메커니즘을 통합하여 안정적이고 안전한 운영을 보장합니다. 이 시스템에는 작동 중 사고 및 장비 손상을 방지하기 위해 연동, 플라즈마 모니터링 센서 (Plasma Monitoring Sensor) 및 긴급 종료 (Emergency Shutdown) 절차가 장착되어 있습니다. 또한 IPC PM 1813 장치는 효율적인 웨이퍼 처리 및 프로세스 자동화 기능 덕분에 높은 처리량과 생산성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 웨이퍼, 평면 패널, 3D 구조 등 다양한 기판 크기와 유형을 수용할 수 있으며, 운영 환경의 유연성과 확장성을 극대화할 수 있습니다. BRANSON PM 1813 툴에는 다양한 업그레이드 (옵션) 및 액세서리가 포함되어 있어 기능을 더욱 향상시킵니다. 여기에는 추가 가스 전달 시스템, 엔드 포인트 감지 센서, 현장 도량형 도구, 고급 프로세스 모니터링 및 데이터 분석을위한 소프트웨어 모듈이 포함될 수 있습니다. 전반적으로 PM 1813 etcher/asher 자산은 정밀도, 신뢰성 및 유연성의 조합으로 플라즈마 처리 기술의 새로운 표준을 설정합니다. 반도체 제조, MEMS (microelectromechanical systems) 제조 또는 재료 연구에 사용되든, 이 모델은 업계에서 가장 까다로운 응용프로그램 및 드라이브 혁신을 지원하는 최첨단 기능을 제공합니다.