판매용 중고 BRANSON / IPC P2100 #9259552

제조사
BRANSON / IPC
모델
P2100
ID: 9259552
Etchers.
BRANSON/IPC P2100 (BRANSON/IPC P2100) 은 다양한 기판에 적합한 아트 에칭 및 애싱 장비의 상태입니다. 이 시스템은 정밀 에칭 기능과 탁월한 프로세스 제어를 제공하여 완벽한 유연성을 제공합니다. IPC P2100은 R&D 분야 및 생산 환경의 다양한 어플리케이션에 이상적인 고성능 습식 (wet-etching) 및 애싱 (ashing) 장치입니다. 저충격 프로세스 (low-impact process) 와 하향식 (top-down) 절차를 사용하여 기판에 최적의 에치 및 재 효과를 제공합니다. 이 기계는 최대 크기가 300mm 인 photomask 및 quartz 웨이퍼와 모두 호환됩니다. 이 도구는 독특한 고급 과산화물 기반 에칭 공정을 통해 산소와 오존의 조합을 사용합니다. 3 단계 에칭 과정에는 사전 청소, 에치 및 사후 청소가 포함됩니다. 사전 청소 단계에서, 산화물 층은 분해되어 기질에서 제거된다. 에치 단계 동안, 포토 마스크 또는 쿼츠 웨이퍼는 O2/O3 스트림을 사용하여 에칭된다. 마지막으로, 청소 후 단계 동안, 남은 잔기가 표면에서 제거됩니다. "오존 '과 산소 조합 은 빠른 에치 속도 와 정확 한 에칭 조절 을 가능 케 한다. 이 자산은 또한 생산성 향상을 위해 고속 애쉬를 제공합니다. 기질은 포토 마스크 또는 섬세한 석영 웨이퍼를 빠르게 제거하기 위해 O2/O3 혼합물을 받는다. 또한 프로세스를 정리 및 최적화하기 위해 작동 범위가 -05C ~ 800C 인 다양한 온도를 제공합니다. 또한, 이 모델은 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 의 가혹한 과정을 견딜 수있는 현장 압력 제어가 가능합니다. 장비의 사용자 친화적 인 인터페이스는 직관적이고 간단한 기계 프로그래밍을 보장합니다. 직관적인 터치스크린은 중요한 프로세스 정보를 표시하며, 빠르고 정확한 프로세스 프로그래밍을 가능하게 합니다. 또한 BRANSON P2100은 최적의 기계 작동을 위해 오류 감지 및 자체 진단 기능을 모두 제공합니다. 전반적으로 P2100은 고속 에칭 (etching), 애싱 (ashing) 및 클리닝 후 (post-cleaning) 작업을 결합하여 탁월한 프로세스 제어를 제공 할 수있는 고급 에칭 및 애싱 시스템입니다. 이 장치는 R&D (R&D) 분야에서 생산 분야로의 응용에 이상적이며, 다양한 기판에 대한 정밀 에칭 및 정화를 제공합니다.
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