판매용 중고 BRANSON / IPC L3100/3 #197758

IPC L3100/3은 다양한 어플리케이션에 탁월한 에칭 및 애싱 성능을 제공하도록 설계된 고급 드라이 에처/애셔 (dry etcher/asher) 입니다. BRANSON 특허 IsoGrip ™ 연락처 기술과 통합되어 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 박막 층 (Thin Film Layer) 과 기판의 구조 구성 요소를 깊게 에칭하기 위해 10-6 ~ 10-7 torr의 최후 진공을 가진 강력한 고진공 터보 분자 펌프를 갖추고 있습니다. L3100/3은 또한 BRANSON/IPC 특허를받은 IsoGrip Wrap-Around Heater Technology와 통합되어 광범위한 작동 온도 범위에 대한 정확한 온도 조절 및 균일 한 가열이 가능합니다. 이를 통해 균일 한 에칭 프로세스와 최적화된 프로세스 결과가 보장됩니다. 또한 최대 12 개의 캐리어를 처리하도록 설계된 높은 처리량 캐리어 (Throughput Carrier) 장비가 포함되어 있습니다. 따라서 사용자 처리가 줄어들고 처리 시간이 단축됩니다. L3100/3은 뛰어난 에칭 및 애싱 성능을 위한 모든 기능을 갖춘 내장형 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 최대 4 개의 프로그램 단계와 64 개의 독립적 인 프로그래밍 가능한 프로파일로 프로그래밍 할 수 있습니다. 이를 통해 프로그램 사용자 정의 및 프로세스 최적화의 유연성을 극대화할 수 있습니다. 내장된 실시간 진단 기능 및 전체 주기 로깅 기능을 통해 반복성과 프로세스 제어를 보장할 수 있습니다. 또한 이 기계는 로드 잠금 (load lock) 과 수정된 로드 잠금 (modified load lock) 을 모두 갖추고 있습니다. 로드 잠금 (Load Lock) 은 캐리어를 로드 및 언로드하는 동안 샘플에 이상적인 진공 환경을 유지하도록 설계되었습니다. 수정된 로드 잠금은 민감한 샘플이 손상되지 않도록 합니다. L3100/3에는 산 스크럽 및 플라즈마 스크럽 장치도 장착되어 있습니다. 산 스크럽 머신 (acid scrub machine) 은 챔버의 내부 서피스를 청소하고 플라즈마 스크럽 (plasma scrub) 은 챔버 벽과 모서리의 에칭을 보장합니다. IPC L3100/3은 최적의 에칭 및 애싱 성능을 제공하도록 설계된 견고하고 신뢰할 수있는 드라이 에처/애셔입니다. 직관적 인 제어와 정확한 난방 기술로 인해 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션에 적합합니다.