판매용 중고 BRANSON / IPC 7102 #3385
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브랜슨/IPC 7102 (BRANSON/IPC 7102) 는 전자 부품의 효율적이고 안정적인 고가상도 에칭 및 재싱을 위해 설계된 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 특수 고온 프로그래밍 가능 디지털 컨트롤러 (HA) 를 사용하며, 이를 통해 사용자는 일관된 에칭과 재싱 (ashing) 을 달성하는 데 필요한 온도, 가스 흐름, 압력을 설정할 수 있습니다. 이 장치에는 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 작업을위한 독립적 인 컨트롤이있는 대형 조명 작업 실이 있습니다. 표본 처리를 위해 3 차원 무대와 공정 제어를 개선하기 위해 다중 세그먼트, 천공 된 바닥 벤치 (bottom-bench) 가 장착되어 있습니다. 또한 작업 챔버 (work chamber) 에는 열 손실 감소, 프로세스 제어 개선, 정교한 흐름 커버의 필요성 제거를 위해 무거운 의무 절연이 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 진공 압력을 사용하여 다양한 가스 종과 아르곤을 작업 챔버를 통해 구동하여 표적 식각 속도와 표면 마무리를 달성합니다. 챔버 온도는 350 ° C ~ 3,000 ° C로 제어 할 수 있으며, 식각 균일성과 반복성을 최대화하도록 특별히 설계되었습니다. 또한 IPC 7102 에는 프로세스 압력을 모니터링하고 정확한 프로세스 제어를 유지하는 이온 게이지 (ion gauge) 가 포함되어 있습니다. 제어 장치에는 간단한 프로그래밍, 실시간 압력 및 온도 판독 기능을 제공하는 선명한 액정 디스플레이 (LCD) 가 있습니다. 직관적인 메뉴 기반 프로그래밍은 자동 매개 변수 설정을 통해 작동하기 쉬운 시스템을 제공합니다. 또한 이 메뉴를 통해 도구의 진단 (diagnostics) 에 액세스할 수 있으며, 사용자는 프로세스를 정확하게 모니터링하고 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 결과를 개선할 수 있습니다. BRANSON 7102 자산은 뛰어난 샘플 균일성 및 반복 성을 유지하면서 오랜 처리 시간을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 견고 한 설계 와 조정 가능 한 작동 온도, "가스 '압력," 가스' 흐름 속도 로 말미암아 다양 한 "에칭 '용도 에 적합 하다. 이 고성능 에처/애셔 (etcher/asher) 는 다양한 프로세스 속도를 제공하여 필요한 프로세스를 신속하게 완료할 수 있습니다.
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