판매용 중고 BRANSON / IPC 3100 #9201709

제조사
BRANSON / IPC
모델
3100
ID: 9201709
웨이퍼 크기: 6"
Asher, 6" Plasma systems: Low pressure Gaseous plasma: Low temperature Plasma treatment chambers Plasma reactions: Ashing Etching / Polymer Surface modification: Quickly / Reproducibly RF Electrical power Control: Reactant plasma gases.
BRANSON/IPC 3100은 정확하고 반복 가능한 프로세스 결과를 제공하도록 설계된 Etcher/Asher입니다. 이것은 정밀 프로세스 제어가 필요한 산업에서 특히 중요합니다. 이 제품은 직관적인 Windows 사용자 인터페이스와 결합된 고급 마이크로프로세서 (microprocessor) 를 통해 장비를 쉽게 작동시킬 수 있습니다. 이 장치에는 실시간 시계, 컨트롤러 및 이중 기능 가스 흐름 제어 방이 장착되어 있습니다. IPC 3100에는 다양한 에칭 프로세스에 이상적인 강력한 810kHz RF 생성기가 있습니다. 이 시스템은 방향 호 (directional arc) 와 정확한 프로세스 제어에 필요한 더 어려운 기본 호 (arc) 를 모두 수행 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 자동화된 좁은 프로세스 창을 포함하여 고급 프로세스 모니터링 기능을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 점점 더 엄격한 프로세스 매개 변수를 제어할 수 있습니다. BRANSON 3100의 단단하고 밀봉 된 챔버는 깨끗한 수평 작동을 위해 설계되었습니다. 또한 석영 벽 삽입 (quartz wall insert) 을 사용하여 오염을 줄이고 생산성을 높일 수 있습니다. 석영 벽의 통제 된 대기 환경은 반복 가능한 플라즈마 에치 프로세스를 보장합니다. 또한 외부 가스 공급 시스템 (gas supply system) 이 필요하지 않으므로 유연성과 프로세스 제어가 뛰어납니다. 이 기기는 직관적인 Windows 사용자 인터페이스 (직관적인 Windows 사용자 인터페이스) 로 제어되며, 이 인터페이스는 경험이 부족한 운영자에게도 쉽게 사용할 수 있습니다. 이 시스템에는 다수의 자체 진단 (self-diagnostics) 및 자동화된 프로세스가 포함되어 있어 프로세스 제어 및 신뢰성을 극대화할 수 있습니다. 3100 은 정확하고 반복 가능한 프로세스 결과, 특히 정밀 프로세스 제어가 필요한 업계에 적합한 선택입니다.
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