판매용 중고 BRANSON / IPC 3000C #9254286
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BRANSON/IPC 3000C etcher/aser는 다양한 구성 요소와 기판에 박막 코팅을 에치 (etch) 하거나 에치 (etch) 하고 ppip하도록 설계된 고급 기계입니다. 통합 된 고진공 공정 챔버 (high-vacuum process chamber) 가 특징이며 습식 및 건식 에치 공정이 모두 가능합니다. 장비에는 3 개의 전자 빔 건의 독특한 수직 다중 마그네트론 배열이 장착되어 있습니다. 이러 한 배열 은 "에칭 '과정 을 정밀 하게 제어 해 주며, 재료 기판 에" 필름 코우팅' 의 효율적 이고 균일 한 에칭 및/또는 증착 을 보장 한다. BRANSNIPC 3000C는 에칭 프로세스를 정확하게 제어하기 위해 이중 채널 제어 시스템을 사용합니다. 이 장치에는 고성능 마이크로프로세서 기반 컨트롤러와 견고한 디지털 컨트롤러가 포함됩니다. 이 기계는 또한 전체 방전 챔버 면적에 균일 한 4 사분면 마그네트론 헤드를 갖추고 있습니다. 또한이 도구는 최대 1,000 sccm의 흐름 속도로 전체 챔버 (chamber) 영역에 균일 한 이온화 에칭 플라즈마를 생성 할 수 있습니다. BRANSON 3000C는 금속, 합금, 중합체, 세라믹 및 복합 기판과 같은 다양한 물질에 에칭 및/또는 박막 코팅에 사용될 수 있습니다. 좁은 슬롯과 깊은 공동 (deep cavity) 과 같은 접근하기 어려운 영역에서 에칭 및/또는 증착에 적합합니다. 3000C는 열 스트레스를 줄이고 균일 한 증착 및/또는 에칭을 보장하도록 설계되었습니다. 특히 방전 전력, 펄스 너비, 듀티 사이클 (duty cycle) 을 제어하는 옵션을 제공하여 열 충격을 줄이고 필름 코팅 균일성을 개선하도록 설계되었습니다. 이 자산은 또한 매우 미세한 입자를 포함하여 다양한 수준의 균일성을 제공합니다. 이는 사용자에게 균일하고 효과적인 결과를 보장합니다. BRANSON/IPC 3000C는 높은 속도와 정확도를 제공하는 안정적이고 고급 etcher/aser입니다. 사용이 간편한 인터페이스 (interface) 를 통해 다양한 프로세스 매개변수를 모니터링하고 제어하여 최고의 정확도와 효율성을 보장할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 인터 록 (interlock), 진공 모니터 (vacuum monitor) 및 자동 전원 끄기 스위치 (auto-power-off switch) 와 같은 다양한 안전 기능을 사용하여 모든 프로덕션 환경에서 안전하게 사용할 수 있습니다.
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