판매용 중고 BRANSON / IPC 2000 #9009136

BRANSON/IPC 2000은 고성능 에처와 애셔입니다. "에치 '와 애쉬 사이클 (ash cycle) 로 높은 수준의 정확성과 품질을 유지할 수 있도록 특허를 획득한 독특한 청소 장비를 갖추고 있다. 400 ° F ~ 800 ° F 범위의 온도에서 작동 할 수있는 IPC 2000은 많은 산업 응용 분야에 적합합니다. BRANSON 2000의 주요 구성 요소는 에치 챔버, 애쉬 챔버 및 RF RF 발전기입니다. 에치 챔버 (etch chamber) 는 열 절연 석영으로 구성되며 원하는 공정 온도를 유지하기 위해 임베디드 링 히터가 있습니다. 그 에 더하여, 약실 압력 을 측정 하는 "이온 게이지 ', 약실 의" 가스' 함량 을 관리 하는 "가스 '공급 조절 장치, 기판 온도 를 측정 하는 열전대 가 있다. 에치 챔버는 직경이 최대 6 인치 인 웨이퍼를 처리하기에 충분히 큽니다. 재 챔버 (ash chamber) 에는 균일 한 재싱을 보장하는 독특한 회전 바구니 디자인이 있습니다. RF 생성기는 이중 주파수이며 프로세스 매개변수 (예: etch 또는 ash rate) 를 조정하는 주파수 전환기를 포함합니다. 프로세스 속도는 시간 (time) 과 전력 (power) 으로 조정하여 원하는 사양을 충족할 수 있습니다. 2000 년에는 다중 구역 압력 제어, 산화물-에치 (oxide-etch-overspray) 보호 및 전용 필터 시스템이 포함되며, 모두 단위 청결성을 유지하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 기계는 또한 최소 열 및 추가 포스트 에치 (etch) 및 애쉬 클리닝 (ash cleaning) 에 대한 최소 요구 사항으로 매우 정밀한 깊이 에칭을 수행 할 수 있습니다. 전반적으로 BRANSON/IPC 2000은 안정적이고 반복 가능하며 정확한 에칭 및 애싱 프로세스를 제공합니다. 유리, 금속, 세라믹, 실리콘 등 대부분의 기판에서 작업할 수 있습니다. 이는 자동차, 전자, 항공 우주 및 반도체 산업에 이상적입니다.