판매용 중고 BMR ICP #9286878

BMR ICP
제조사
BMR
모델
ICP
ID: 9286878
ICP Etchers, 4" 2009 vintage.
BMR ICP (Inductively Coupled Plasma) 는 정밀 처리에 사용되는 에칭 및 애싱 시스템입니다. 화학 에칭 공정 (eching process) 을 사용하여 기판 또는 웨이퍼에서 재료를 제거하는 데 사용되는 첨단 기계입니다. ICP는 국소화 된 유도 (induction) 또는 고주파 (high-frequency) 적용으로 배출되는 반응성 가스를 분리한다. 이 반응성 "가스 '를 사용 하여 기판 이나" 웨이퍼' 에 정밀 한 양 의 "에너지 '를 공급 하여 그 물질 을 안전 하게 에칭 하거나 재 에 넣는다. 그 결과, 다른 에칭 (etching) 방법에 비해 면적이 정확히 에칭되고 물질 손실이 적어집니다. 이 프로세스는 3 단계로 구성됩니다. 제 1 단계는 고주파장이 반응성 가스와 기질 또는 웨이퍼 사이에 화학 반응을 만드는 데 사용되는 유도 과정 (induction process) 이다. 이 화학 발광 반응은 열을 생성하고 가스 분자를 이온화시켜 활성 종을 생성합니다. 두 번째 단계 는 가열 된 반응성 "가스 '가" 에치' 를 하거나 "애싱 '을 할 필요 가 있는 물질 의 표면 위 에 뿌릴 때 생기는" 애싱' 과정 이다. "가스 '에서 기판 으로" 에너지' 를 전달 하면 부품 의 모양 과 무결성 을 보존 하면서 물질 을 제거 하는 데 도움 이 된다. 마지막 단계 는, 많은 양 의 냉각제 가 "에칭 챔버 '를 통과 하여" 챔버' 의 온도 를 가장 좋은 결과 를 얻기 위한 원하는 수준 으로 낮추는 냉각 과정 이다. 이 유도, 난방, 냉각의 조합은 정확하고 정확한 에칭 결과를 가능하게 하는 독특한 에칭 프로세스를 만드는 데 도움이됩니다. BMR ICP 는 고효율 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 시스템으로, 오차 한계가 매우 낮은 고정밀 부품을 생성하는 데 사용됩니다. 실험실· 제조시설· 연구개발업체 등에 필수도구로, 원하는 결과를 내기 위해 섬세한 에칭 (etching)· 애싱 (ashing) 작업을 해야 한다. 그 결과, ICP 는 기판 손실 을 최소화 하고, 많은 산업 에서 필요 한 정밀성 을 지닌, 훌륭 한 결과 를 가져온다.
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