판매용 중고 BINDER TPS 216 #293674386

BINDER TPS 216은 etcher 또는 asher이며 TPS 2/3 시리즈의 고급 모델입니다. 이 건조 공정 머신 (dry process machine) 은 단일 가공 패스에서 최대 4 개의 기판 레이어의 정확한 ashing 및 etching을 위해 설계되었습니다. 이 기계는 최대 온도가 1025도, 압력 범위가 1 ~ 10 토르 인 4 개의 독립적으로 움직일 수있는 공정 챔버를 갖추고 있습니다. 사용자는 4 개의 다른 챔버 (chamber) 구성을 사용하여 애플리케이션을 위한 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. TPS 216 은 최대 160 W 의 전력 과 최대 4 분 의 처리 시간 을 가지고 있으며, 오염 을 최소화 하는 여러 가지 기판 을 신속 하고 정확 하게 처리 할 수 있다. 작업 표면에는 모두 자동 잠금 장치 (auto-locking mechanism) 와 프로세스 관리를 위한 온보드 컴퓨터 제어 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 온도 및 압력 모니터링, 통합 진공 안전 및 비상 정지 기능이 포함됩니다. 직관적인 터치스크린 인터페이스 (TouchScreen Interface) 덕분에 사용자는 모든 시스템 매개변수에 쉽게 액세스하여 최적화된 결과를 빠르게 조정할 수 있습니다. 또한, 이 시스템에는 레시피 레벨 관리가 포함되어 있으며, 운영자는 나중에 사용할 수 있도록 프로세스를 저장, 저장 및 리콜할 수 있습니다. 애싱 (ashing) 및 에칭 (etching) 작업이 가능한 한 일관되게 유지되도록 하기 위해 시스템에는 자동 웨이퍼 두께 (automatic wafer thickness) 및 지형 감지, 데이터 로깅 기능 및 열 중단 기능이 있는 시스템 상태 컨트롤러 (System Status Controller) 도 포함됩니다. 바인더 TPS 216은 정밀 배치 처리에 적합한 선택입니다. 이 시스템은 사용자 친화적인 인터페이스와 광범위한 안전 (Safety) 기능 덕분에 리서치 (Research) 및 프로덕션 (Production) 환경에서 모두 사용할 수 있습니다. 4 개의 독립적으로 움직일 수있는 공정 챔버 (process chamber) 와 함께 인상적인 온도 및 압력 범위 (pressure range) 는 다른 처리 기술을 실험하려는 사람들에게 이상적인 선택입니다. 전반적으로, TPS 216은 안정적인 결과를 지속적으로 제공 할 수있는 강력한 에칭 및 애싱 머신입니다.