판매용 중고 BALZERS / UCP LFC 150LG #9407714

BALZERS / UCP LFC 150LG
ID: 9407714
Plasma cleaner.
BALZERS/UCP LFC 150LG Etcher/Asher는 반도체 제조에 사용되는 다목적 도구입니다. 이 도구는 단일 플랫폼에서 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 조합하여 반도체 제조 공정에서 여러 단계를 효과적으로 수행할 수 있습니다. 현대 반도체 제작의 기술 요구에 대한 완벽하고, 다양성이 높은 솔루션입니다. UCP LFC 150LG는 소형의 공간 절약형 디자인으로, 다양한 레이아웃에 쉽게 통합할 수 있습니다. 또한 사용자 요구 사항에 매우 대응하는 효율적인 프로세스 모듈 (process module) 도 함께 제공됩니다. 이 도구는 자동 온도 제어 (automated temperature control) 를 통해 제작되었으며, 공정 전체에서 정밀한 온도 관리를 보장하는 높은 응답 온도 설정 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 향상된 결과를 위해 모든 기능을 갖춘 플라즈마 소스를 자랑합니다. BALZERS LFC 150LG는 최대 150 ° C의 온도 범위를 가질 수 있으며, 광범위한 공정 화학 물질이 장착되어 있습니다. 또한 전기 도금, 무전기 도금, 전기 청소 및 전기 에칭과 같은 다양한 전기 화학 가공 방법을 제공합니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스는 고급 안전 시스템을 갖춘 통합 고성능 가스 제어 시스템을 통해 수행됩니다. LFC 150LG는 고효율 반도체 장치의 안정적이고 정확한 생산을 위해 설계되었습니다. 또한 효율적인 청소 및 표면 준비를 통해 반도체 성능을 향상시킵니다. 이 도구는 고급 반도체 스케일링 프로세스에도 소형 기판을 수용합니다. 간편한 운영 및 모니터링을 위해 간편하고 인체 공학적 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 갖춘 간편한 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 전반적으로 BALZERS/UCP LFC 150LG는 고급 반도체 제조 요구 사항에 이상적인 도구입니다. 반도체 업계의 다양한 프로세스에 적합한 고성능 (HPP) 과 다용도 (다용도) 를 제공한다. 효율적이고 신뢰할 수 있는 메커니즘은 높은 프로세스 생산성과 생산성을 보장하는 동시에, 안전하고 사용자 친화적인 (user-friendly) 솔루션을 제공합니다.
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