판매용 중고 BALZERS / UCP LFC 150 #9261441

BALZERS/UCP LFC 150은 반도체 산업의 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 에치 및 애싱 화학 작업을 동시에 수행 할 수 있습니다. 2 개의 독립적 인 스프레이 챔버 (Spray Chamber) 가 있어 중소 규모의 생산 운영에 이상적입니다. UCP LFC 150은 고급 디지털 제어판과 직관적인 사용자 인터페이스를 갖추고 있습니다. 사용자는 쉽게 매개변수를 조정하고, 시스템 상태를 모니터링하고, 프로세스 보고서를 생성할 수 있습니다. etcher/asher는 단일 레이어 또는 다층 필름을 반도체 기판에 배치 할 수 있습니다. 평균 챔버 온도는 1 ° C 내에 유지 할 수 있으며, 높은 진공 및 초저압 화학 물질을 처리 할 수 있습니다. 습식 에칭 또는 전기 도금과 같은 일반적인 산업 표준 프로세스를 사용하여 BALZERS LFC 150은 알루미늄, 구리, 금, 팔라듐, 은 및 스테인리스 스틸을 포함한 다양한 금속을 처리 할 수 있습니다. 2 개의 통합 용광로 챔버는 최대 1200 ° C의 온도에서 고급 재료를 처리 할 수있는 유연성을 제공합니다. 또한, LFC 150은 고속 균일성과 반복성으로 인해 뛰어난 품질의 마무리를 제공할 수 있습니다. 또한 etcher/asher 는 프로세스 최적화 및 제어를 위한 강력한 원격 모니터링 기능을 제공합니다. 통합 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 은 고속 공압 밸브와 피에조 (piezo) 스케일을 갖추고 있어 가스 흐름을 정확하게 모니터링하고 제어 할 수 있습니다. 또한 BALZERS/UCP LFC 150에는 고급 프로세스 가스 전달 시스템 (process gas delivery system) 이 있어 특정 요구 사항에 맞게 가스 분수, 유형 및 압력 수준을 조정할 수 있습니다. UCP LFC 150은 신뢰성 및 반복성 외에도 액티브 챔버 배기 가스 (Active Chamber Exhaust), 리모콘 인터록 보호 (Remote Control Interlock Protection) 및 긴급 전원 차단 (Emergency Power Shown) 과 같은 안전 기능을 제공하여 업계에서 가장 안전한 에칭/애싱 시스템 중 하나입니다. 최첨단 기술과 고급 기능을 갖춘 BALZERS LFC 150은 안정성, 고품질 에칭 및 애싱 (ashing) 서비스를 제공하며 다양한 반도체 생산 프로세스에 적합합니다.