판매용 중고 BALZERS / UCP LFC 063CS-V1 #9296852

ID: 9296852
Plasma cleaner.
BALZERS/UCP LFC 063CS-V1은 완전 자동화 된 etcher/asher입니다. 실험실 연구에서 양질의 결과를 요구하는 연구원에게는 이상적인 선택입니다. "에처 '는 기판 을 쉽고 정확 하게 에치 (etch) 하고, 애셔 (asher) 하고, 예금 하는 데 사용 할 수 있는 여러 가지 구성 요소 를 갖추고 있다. 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (graphical user interface) 로 프로그래밍되었으며 5 cm2/분 이상의 인상적인 속도로 다양한 에칭 및 애싱 기능을 제공합니다. 에처에는 각각 6 X 5 mm 양극과 음극 전극을 포함하는 가열 단위가있는 2 개의 챔버가 있습니다. 이를 통해 처리 속도와 정확도가 높은 다양한 표본 (size) 의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 이 가능합니다. UCP LFC 063CS-V1은 모든 프로세스의 품질을 보장하는 "프론티어 프로세스 시스템" 으로 구동됩니다. 시스템은 온도, 압력, 화학, 전압 (voltage) 과 같은 에칭 및 애싱 환경의 모든 매개변수를 모니터링하여 일관성을 보장합니다. 또한, 정확한 표면 에칭 및 청소 솔루션을 위해 장비를 프로그래밍 할 수있는 대화식 챔버 물리 매핑 시스템 (interactive chamber physical mapping system) 이 장착되어 있습니다. BALZERS LFC 063CS-V1은 또한 통합 안전 기능을 사용하여 운영자와 샘플의 안전을 보장합니다. 이 장치는 챔버가 올바르게 고정되지 않으면 작동을 방지하는 안전 연동 (Safety Interlock) 으로 설계되었으며, 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 프로세스가 사용자에게 안전한지 확인하기 위해 저압 게이지, 흐름 센서 및 비상 종료를 포함합니다. LFC 063CS-V1은 표본 처리에 사용될 때 안정적이고 정확한 도구입니다. 이 기능을 사용하면 소형 기판을 정확하게 에칭 (etching) 하고 재싱 (ashing) 할 수 있으며, 운영자에게 안전하고 안전한 환경을 제공합니다. 에처 (etcher) 는 재생 가능한 결과를 초래하는 양질의 에처/애셔 (etcher/asher) 기계가 필요한 모든 실험실 및 연구 시설에 귀중한 자산입니다.
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