판매용 중고 BALZERS LFC 150 #9258235

BALZERS LFC 150은 동적 기능 크기가 최대 500 미크론 인 기판의 에칭/애싱을 위해 설계된 고정밀 에처/애셔입니다. 이 장비에는 프로세스 속도와 정확도를 높이기 위해 자동 기판 로더가 장착되어 있습니다. LFC 150에는 마이크로 머신 (micromachining) 을위한 이중 빔 레이저 (dual-beam laser) 가 포함되어 있으며, 하나는 샘플에, 다른 하나는 기질에 직접 초점을 맞추고 있습니다. 레이저 빔은 기화, 절제, 애싱 및 에칭 프로세스에 사용됩니다. 빔 크기는 특정 응용 프로그램에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한, 정확한 에칭을 보장하기 위해 기계의 빔을 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 비활성 분위기를 사용하여 높은 정확도로 우수한 에칭 결과를 얻습니다. 비활성 대기는 질소, 아르곤, 산소로 구성되며, 이는 표면 물질의 균일 한 절제를 보장하는 데 도움이됩니다. 표면의 손상을 방지하기 위해 샘플 크기와 재료에 따라 에칭 온도를 조정할 수 있습니다. 기계는 반응성 이온 에칭, 이온 빔 에칭, 화학 증기 에칭 및 플라즈마 에칭과 같은 다양한 에칭 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 에치 (etch) 매개변수를 정확하게 제어하기 위해 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 매개변수는 다른 프로세스에 맞게 조정할 수 있습니다. BALZERS LFC 150은 또한 운영자를 잠재적 인 피해로부터 보호하기위한 내장 안전 장치를 갖추고 있습니다. 그 기계 는 "센서 '로 만들어져 있어서 위험 한 환경 에서도" 오퍼레이터' 가 안전 하게 유지 될 어떤 결함 이나 불규칙적 인 수술 을 탐지 할 수 있다. 전반적으로, LFC 150 etcher/asher는 매우 높은 정밀도로 기판을 에치 앤 애쉬 할 수있는 강력하고 신뢰할 수있는 기계입니다. 강력한 레이저 빔 (Laser Beam), 비활성 대기, 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 및 종합적인 안전 머신 (Safety Machine) 의 조합으로 소규모 어플리케이션과 대규모 어플리케이션에 이상적입니다.