판매용 중고 BALZERS / INFICON LFC 150 #9298823

BALZERS/INFICON LFC 150은 신뢰성이 높고 재현 가능한 방식으로 다양한 샘플을 에치 앤 애셔링하도록 설계된 다기능 에처 또는 애셔입니다. 이 장비 는 실험실 이나 "반도체 '산업 에 사용 하도록 설계 되었으며, 작은 면적 을 갖추고 있어서, 작은 공간 에 적합 하다. BALZERS LFC 150은 자동 화학 전달 및 폐기물 관리 시스템을 포함하는 스테인레스 스틸 탱크 (stainless steel tank) 로 구성된 통합 공정 탱크로 구성됩니다. 탱크의 유체는 고압 펌프 장치 (high-pressure pump unit) 에 의해 제공되며 별도의 반응 챔버 머신 (reaction chamber machine) 을 통해 보충되어 다중 단계 프로세스를 허용합니다. 통합 도구 (Integrated Tool) 에는 필요한 프로세스 전원 공급 장치와 에칭 (etching) 및/또는 애싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 제어하기 위한 에너지 및 온도 조절 자산이 포함되어 있습니다. 또한, 제어 모델은 에칭 및/또는 애싱 (ashing) 을위한 대체 프로세스 컨트롤로 사용될 수있는 진공 장치에 연결됩니다. INFICON LFC 150에는 압력 (pressure), 온도 (temper), 전압 (voltage) 및 대기 게이지와 같은 다양한 프로세스 모니터와 프로세스 중 위험한 상황을 모니터링할 수있는 광범위한 다른 안전 기능이 추가로 장착되어 있습니다. 또한 이 장비는 자동 프로세스 제어 (Automatic Process Control) 기능을 통해 에칭 (Etching) 및/또는 어싱 (Ashing) 프로세스를 모니터링하고 제어하기 위한 빠르고 효율적인 운영 및 최소한의 사용자 개입을 가능하게 합니다. LFC 150은 또한 흐름 제어, 가스 흐름 제어, 온도 및 전원 공급 제어, 에칭 속도, 프로세스 시작/중지 시간 등의 조정 가능한 기능으로 에칭 및/또는 애싱 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 시스템을 구성하고 사용자 정의하여 특정 요구 사항이나 애플리케이션 (예: 반복 가능한 프로세스에 대한 레시피 스토리지 제공) 을 충족시킬 수 있습니다. BALZERS/INFICON LFC 150은 탄탄하고 얇은 샘플 재료의 뛰어난 재현성과 탁월한 커버리지를 통해 안정적이고 빠르게 제어되는 에칭 및/또는 애싱 프로세스를 제공합니다. 이 장치는 사용자 친화적이며, 비용 효율적이며, 안전하며, 우수한 프로세스 결과를 제공합니다.