판매용 중고 BALZERS / INFICON LFC 150 #9289483
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BALZERS/INFICION BALZERS/INFICON LFC 150은 고품질 부품을 생산하기 위해 반도체 산업에 사용되는 고급 에칭/애셔 시스템입니다. 이 산업 등급 기계는 정확한 에칭 결과를 제공하고 주기 시간을 최소화하도록 특별히 설계되었습니다. BALZERS LFC 150은 강력하고 신뢰할 수있는 열 산화 시스템 (thermal oxidation system) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 재싱 작업을 사용자 정의할 수 있습니다. 이로써, 구성 요소에 대한 산화 효과를 최소화하면서 균일 한 부품을 정확한 사양으로 불러들이는 것이 더 쉬워집니다. 정밀한 온도 조절과 조절 가능한 대기의 조합으로 프로세스 일관성 (process consistency) 과 제품 품질이 향상됩니다. INFICON LFC 150 (INFICON LFC 150) 은 고급 신호 디코딩 및 필터링 기술을 사용하여 장치를 최대 40MHz의 속도로 중요한 프로세스를 수행하는 데 능숙하게 만듭니다. 이 빠른 애쉬는 고품질의 반복 가능한 부품을 만듭니다. 또한, 스마트 집중 시스템은 에칭 에이전트 농도의 정확한 제어를 보장하여, 고효율 및 일관된 에칭을 모두 가능하게한다. 에칭 프로세스에 참여하기 위해 LFC 150에는 안정적인 열 펄스 생성을 보장하기 위해 안정적인 이중 플라즈마 토치 헤드 (plasma torch head) 가 장착되어 있습니다. 펄스 (pulse) 너비는 원하는 대로 조정할 수 있고, 에칭 (etching) 프로세스는 통합 프로세스 속도 모니터에 의해 더욱 최적화될 수 있습니다. 안전성 측면에서 BALZERS/INFICON LFC 150은 폐쇄 루프 (closed-loop) 시스템에서 작동하도록 설계되어 현미경 장치를 작업 할 때에도 위험이 낮은 환경을 보장합니다. 이 장치는 국제 가스 안전 표준 (International Gas Safety Standard) 에 따라 인증되어 가연성 가스가 사용되지 않도록 보장합니다. BALZERS LFC 150의 최첨단 기능, 안정적인 성능, 안전 중심 기능을 통해 차세대 반도체 구성 요소 생산에 이상적인 선택입니다.
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