판매용 중고 BALZERS / INFICON LFC 150 #9279137

BALZERS/INFICION BALZERS/INFICON LFC 150은 크고 작은 기판 영역에서 정확하고 초고속 텅스텐 에칭 및 중금속 재싱 프로세스를 위해 설계된 에처 또는 애셔입니다. 현재 시장에서 가장 향상된 에칭 시스템 중 하나이며, IC 제조, MEMS, 반도체 애플리케이션 등 첨단 마이크로패브라이제이션 (microfabrication) 기술에 사용하기 위해 통합된 매우 안정적이고 비용 효율적인 도구입니다. 에처 (etcher) 는 강력한 CO2 레이저 장비와 최소 열 분해와 함께 가장 높은 에칭 정확도를 제공하도록 설계된 정밀 제 2 고조파 공진기로 구성됩니다. BALZERS LFC 150에는 2 개의 독립적 인 레이저 빔과 에칭 프로세스를 정확하게 제어하는 고정밀 멀티 축 스테이지가 장착되어 있습니다. 두 "레이저 '는 동일 한" 에칭' 주기 를 동시 에 수행 하도록 "프로그램 '될 수 있으며, 생산성 을 높이고 시간 과 노력 이 적어지면 보다 정확 한" 에칭' 을 할 수 있다. 또한 온도 조절 시스템 (Temperature Control System) 을 통해 작동 온도가 0-30 ° C 사이에 유지되고 진공 장치가 40mbar의 기본 압력을 제공합니다. 진공기는 공정 챔버 (process chamber) 에서 오염을 빠르게 제거하여 식각 수율과 장기 정확도를 높이도록 설계되었습니다. 또한 제어 소프트웨어 (control software) 와 PC 인터페이스 (PC interface) 를 사용하여 에칭 프로세스를 쉽게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 이렇게 하면 etch 프로세스를 완전히 중단할 수 있으며, 레이저 버스트 온/오프, 레이저 강도, 에칭 프로파일, 에칭 영역 등의 모든 매개변수를 즉시 변경할 수 있습니다. 또한, 에셋에는 에치 (etch) 프로세스를 지속적으로 모니터링하는 다양한 특수 탐지기 (specialized detector) 가 있어 최고 품질의 결과를 보장합니다. INFICON LFC 150은 고급 장치, MEMS 및 IC 제조와 같은 다양한 고급 마이크로 구성 응용 프로그램에 이상적인 도구입니다. 높은 수준의 자동화와 더불어 정밀 에칭 (eching) 및 탁월한 애싱 (ashing) 기능을 통해 효율적이고 사용자 친화적인 에칭 툴을 제공하여 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.