판매용 중고 BALZERS / INFICON LFC 150 #9263245

BALZERS/INFICION BALZERS/INFICON LFC 150 Etcher/Asher는 다양한 프로세스를 수행하도록 설계된 광범위한 에치/애쉬 장비입니다. 이 시스템은 빠르고, 깨끗하고, 효율적인 표면 처리 기능을 제공하며, 여러 가지 고급 엔지니어링 기술을 사용합니다. BALZERS LFC 150 etcher/asher의 가장 두드러진 특징은 진공 챔버이며, 최대 1 × 10-7 Pa까지 초고 진공 (UHV) 이 가능합니다. 챔버는 스테인리스 스틸로 만들어지고 부식 방지 재료로 코팅되어 다양한 화학, 전기 기계 및 물리적 프로세스에 이상적입니다. 또한, 환경 챔버의 직경은 500mm 인 150 리터의 챔버 부피가 있습니다. 경쟁 업체와 분리하는 장치의 측면은 ACCS (Advanced Coater Commutation Subsystem) 이며, 이는 INFICON LFC 150이 폴리머, 세라믹 및 반 전도성 층과 같은 다양한 유형의 코팅을 관리 할 수있는 특허 기술입니다. 또한 ACCS 기술에는 위험 방지 및 제어 시스템, 사용자 안전 및 생산 효율성 극대화가 포함됩니다. 기계는 또한 고급 Linux 기반 CNC 제어 인터페이스를 통합하여 쉽고 편리한 작업을 수행합니다. 내장 레시피 편집기 (in-built recipe editor) 를 통해 원하는 기능을 갖춘 맞춤형 레시피를 설계할 수 있습니다. 레시피 편집기를 사용하면 냉각 온도, 가스 혼합물, 압력, 에칭 시간 등의 변수를 조작할 수 있습니다. LFC 150은 개방형 자동화 인터페이스도 통합했습니다. 이 인터페이스를 통해 고객은 레시피 매개변수 (recipe parameter) 와 상호 작용하고 전체 생산 프로세스를 제어하여 포괄적인 프로세스 추적성 (process traceability) 및 재작업 유연성을 제공할 수 있습니다. 요약하면, BALZERS/INFICON LFC 150 etcher/asher는 진공 및 압력 제어, 유연한 처리 기능 및 고급 안전 시스템을 제공하는 고도의 도구입니다. 프로세스 제어 및 운영 효율성을 향상시키는 동시에, 위험 요소를 줄이고, 사용자 안전을 최적화할 수 있도록 설계되었습니다.