판매용 중고 BAL-TEC BAF060 #9247281

BAL-TEC BAF060은 반도체 산업의 정밀 에칭 및 재싱을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 더 큰 웨이퍼 영역으로 높은 에치 속도, 균일성 및 선택성을 제공합니다. 이 기계는 가장 까다로운 프로세스 요구 사항에 대해 최대 3 미크론 (micron) 이하의 에치 (etch) 선택성을 제공할 수 있으며, 이는 최첨단 반도체 제품에 대한 고급 아키텍처 (advanced architecture) 의 제작을 가능하게 합니다. BAF060에는 정확성과 반복성을 보장하는 3 축 이동 디자인이 있습니다. 각 축은 최대 1.5 미터까지 이동하며 고정밀 선형 구동 모터 (Linear Drive Motor) 에 의해 구동되므로 주기가 매우 짧습니다. 장비에는 다중 레벨 모니터링 시스템 (Multi Level Monitoring System) 이 장착되어 있어 전체 장치를 모니터링하고 에칭/어싱 프로세스를 제어합니다. BAL-TEC BAF060 (BAL-TEC BAF060) 에는 레시피를 저장하고 정보를 레시피하여 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스를 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있는 컴퓨터가 내장되어 있습니다. 이는 태양광 및 MEMS 산업의 반도체 구조와 같은 고급 반도체 (advanced semiconductor) 구조의 생산에 특히 유익합니다. 내장 컴퓨터는 또한 "실시간 (real time)" 제어 센터 역할을 하며, 항상 시스템을 모니터링하여 프로세스가 올바르게 진행되는지 확인합니다. BAF060에는 다양한 공정 가스 (process gase) 가 장착되어 있으며, 에칭 챔버 (etching chamber) 에 공급되어 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 을 위해 완전한 범위의 공정 가스를 제공 할 수 있습니다. 가스는 닫힌 루프 도구 (closed loop tool) 로 전달되며, 이는 공정 가스의 균일 한 흐름과 에칭 챔버 (etching chamber) 의 원시 환경을 보장합니다. 이를 통해 BAL-TEC BAF060은 단일 에칭 및 애싱 프로세스에서 최적의 결과를 제공 할 수 있습니다. BAF060 프로세스는 사용자 친화적이며, 사용자가 자동화하고 모니터링할 수 있습니다. 사용자는 전체 프로세스 (process) 를 단계별로 모니터링할 수 있으며 필요한 경우 에셋에 수동 (manual) 명령을 부여할 수 있습니다. 이를 통해 프로세스를 신속하게 조정, 진단 및 최적화할 수 있습니다. 전반적으로 BAL-TEC BAF060은 정밀 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 매우 정교하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 그것은 균일 한 에치 속도, 반복성 및 선택성을 제공하며, 넓은 지역 반도체 구조에 적합합니다. 또한 사용자 친화적 인 프로세스와 수많은 운영 이점이 BAF060을 반도체 산업 (Semiconductor Industry) 에서 귀중한 자산으로 만듭니다.