판매용 중고 AXIC PlasMaster #9124358
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ID: 9124358
웨이퍼 크기: 8"
RIE system, 8"
Manual load system
Non-load lock
Computer control
CRT and keyboard
SST chamber
12” Water cooled electrode
(4) MFCs,balzers turbo pump
Leybold mechanical pump
AE RFX 600 power supply with auto matching network
Laser endpoint detection
Bay voltex water chiller.
AXIC PlasMaster는 컴퓨터 제어 공정 기술을 통해 대부분의 금속, 도자기, 안경을 공구, 에치, 재로 만들 수 있도록 설계된 정밀 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 시스템은 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics), 의료 기기 (medical devices), MEMS (MEMS), 광자 공학 (photonics) 등 다양한 어플리케이션에 이상적인 제품입니다. 이 장치는 고객의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에서 더 큰 정확도, 속도 및 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 플라스마스터 (PlasMaster) 는 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스에 필요한 압력을 균일하게 적용하여 최적의 균일성을 보장하는 진공기를 사용합니다. 또한 온도 조절 도구 (Temperature Control Tool) 를 통합하여 빠른 응답 시간을 제공하여 최고의 정확도를 제공합니다. 에셋은 고출력 (High Power) 연속 전환 펄스 제너레이터 (Pulse Generator) 를 장착하여 에칭 및 애싱 프로세스의 속도와 정확한 제어를 제공합니다. 이 생성기를 사용하여 AXIC PlasMaster 는 높은 정밀도로 복잡한 패턴을 에치하거나 재로 만들 수 있습니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스는 밀폐된 선박 내에서 이루어지며, 환경으로부터 분리되어 추가 안전층이 추가됩니다. PlasMaster의 직관적인 제어 소프트웨어를 사용하면 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 쉽게 설정하고 프로세스를 신속하게 시뮬레이션할 수 있습니다. 선택한 매개변수가 화면에 표시되어 프로세스의 정확성을 보장합니다. 또한 기록 및 아카이빙 작업을 위한 프로세스 추적 기능을 제공합니다. 또한, 제어 소프트웨어는 각 응용 프로그램에 대해 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 최적화하는 매개변수 최적화 기능을 제공합니다. AXIC PlasMaster 는 안전성을 염두에 두고 설계되고 제작되었습니다. 밀폐된 선박 설계는 공정에 오염 물질이 들어올 위험을 제거하는 반면, 비활성 가스 대기 (inert gas atmospheres) 는 가공소재와의 반응을 최소화하기 위해 작동합니다. 이 모델에는 안전 실드 (Safety Shield) 와 유해 물질 및 온도의 운영자에게 경고하는 경고 장비가 포함되어 있습니다. 전반적으로 PlasMaster 는 다양한 애플리케이션의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구 사항을 충족하는 탁월한 선택입니다. 이 시스템의 정확한 제어, 통일된 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능은 정밀 크리티컬 어플리케이션을 위한 최상의 선택입니다. 직관적인 제어 소프트웨어를 사용하면 매개변수를 쉽게 설정하고 프로세스를 최적화할 수 있으며, 장치 안전 (Safety) 기능은 작업 중 사용자 안전을 보장합니다.
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