판매용 중고 AXIC Multimode HF-8 #9171691

AXIC Multimode HF-8은 고주파 회로 제작 애플리케이션을 위해 설계된 최신 etcher/asher입니다. HF-8은 가장 복잡한 microfabrication 프로세스조차도 빠르고 균일 한 에칭 및 애싱 시간을 제공합니다. 이 장비는 550W 고주파 유도 소스 시스템을 사용하며 직경이 최대 8 "인 기판을 처리합니다. 유도 소스 및 챔버 디자인은 프로세스 균일성 및 반복성을 향상시킵니다. 또한 HF-8은 시간 기반, 정확한 에칭 및 애싱 프로세스를 허용하는 디지털 엔진을 갖추고 있습니다. 디지털 엔진에는 목표 값의 ± 2 ° C 이내까지 정확한 온도 제어를 위해 프로그래밍 가능한 온도 제어 장치가 포함되어 있습니다. 이를 통해 다양한 프로세스 레시피와 일관된 결과를 얻을 수 있으므로 안정적인 디바이스 성능을 보장할 수 있습니다. 이 기계는 또한 etcher/asher 및 레시피 관리 소프트웨어 간의 통신을 제공하므로 프로세스 레시피를 쉽게 사용자 정의하고 선택할 수 있습니다. HF-8에는 에치 및 애싱 가스의 효율적인 전달을위한 RVF 가스 전달 툴과 초 순수 전구체 및 제품 제거를위한 DI/UPW 챔버 (Chamber) 가 장착되어 있습니다. 또한 N2 캐리어 가스는 공정 챔버에서 완전히 분리되어 외부 캐리어 가스 공급 (external carrier gas supply) 이 필요하지 않습니다. 이 자산에는 프로세스 데이터를 모니터링하고 표시하기 위한 전산화된 터치 스크린 인터페이스 (Touch Screen Interface) 가 포함되어 있습니다. 포함된 그래픽 소프트웨어를 사용하면 에칭/애싱 레시피를 시각적으로 모니터링하고 제어할 수 있습니다. '실시간 프로세스 모니터 (Real-time Process Monitor)' 를 사용하면 용도와 레시피를 기록하고 기록할 수 있으므로 다양한 프로세스 결과를 쉽게 분석하고 비교할 수 있습니다. 멀티모드 HF-8 (Multimode HF-8) 은 정밀한 고주파 회로 제작에 이상적인 모델로, 기존의 에칭 및 애싱 프로세스보다 향상된 프로세스 제어, 균일 한 결과, 뛰어난 유연성을 제공합니다.