판매용 중고 AXIC Multimode HF-8 #107384

AXIC Multimode HF-8은 실리콘 기반 재료의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 폴리 이미드 에치/애셔입니다. 무선 주파수, 플라즈마 및 반응성 이온 에치 (RIE) 공정의 조합을 사용하여 에치 선택성과 높은 에치 속도를 달성합니다. 이 다중 모드 에치/애셔 (etch/asher) 는 빠르고 균일하며 신뢰할 수 있는 프로세스를 우수한 품질로 제공할 수 있습니다. 이 장비는 다양한 에치 화학 물질 및 기질 물질을 갖춘 균일 한 플라즈마 및 RIE 프로세스를 제공합니다. NF-8 의 스캔 시스템 (Scan System) 과 정밀 기계적 단계 (Precision Mechanical Stage) 를 이용하면 다양한 재료와 깊이를 최소한의 프로세스 단계로 에칭할 수 있습니다. 동일하게 효율적인 배기 장치 (exhaust unit) 는 보다 안정적인 프로세스를 위해 뛰어난 청소 및 입자 제어를 제공합니다. 고성능 자동 로드/언로드 시스템은 총 주기 시간을 최소화하고 생산성을 향상시킵니다. 이 도구는 NF-8의 플라즈마 및 RIE 프로세스 외에도 프로세스 내 EP (End Point) 모니터도 제공합니다. 이 기능을 사용하면 etcher 가 etching 프로세스의 정확한 완료를 감지하여 비용이 많이 드는 over-etching 을 방지할 수 있습니다. Multimode HF-8은 다양한 오존 화 화학 물질뿐만 아니라 XeF2, Ar/O2, CHF3, SF6 및 SiH4와 같은 다양한 RIE 화학 물질을 제공하여 자산을 매우 다재다능하게 만듭니다. 이 모델의 다른 기능으로는 통합 냉각 장비 (Integrated Cooling Equipment), 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphic User Interface) 및 완전 자동 배기 시스템이 있습니다. AXIC Multimode HF-8 (다중 모드 HF-8) 은 확장 범위의 etching 매개 변수에 대해 반복성과 안정적인 에칭 성능을 제공합니다. 또한 간단한 사용자 인터페이스 (user interface) 와 자동 설정 (automated settings) 을 제공하여 여러 에칭 주기에 걸쳐 처리 시간을 줄이고 높은 정확성과 일관성을 향상시킵니다. 전반적으로 멀티모드 HF-8 (Multimode HF-8) 은 매우 다용도 에처이며, 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수있는 에칭 결과가 필요한 모든 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. AXIC Multimode (Multimode) HF-8은 안정적인 성능, 뛰어난 다용도 및 사용 용이성으로 인해 다단계 집적회로 (etching multi-level integrated circuit) 에서 패키징 및 MEMS에 이르기까지 다양한 어플리케이션에 적합합니다.