판매용 중고 AXCELIS Integra #9389490

AXCELIS Integra는 대규모 화합물 및 단결정 반도체 웨이퍼에 에치 처리 기능을 제공하도록 설계된 고급 드라이 에치 (dry-etch) 장비입니다. 기존의 화학 증기 증착 (CVD) 또는 혈장 증착을 사용하여 에칭을 수행 할 수 있습니다. 인티그라 시스템 (Integra system) 을 사용하면 여러 레이어를 순서대로 불러올 수 있으며, 다양한 기능성 재료에서 높은 해상도의 에칭이 가능합니다. 이 장치는 Optics and Photonics Technical Handbook, 2판에 자세히 설명 된 혁신적인 디자인을 사용합니다. 기계는 챔버와 전원의 두 부분으로 구성됩니다. 이 약실 에는 높은 진공 환경 이 들어 있는데, 이 환경 은 "에치 '처리 에 사용 되며 주변 오염 을 방지 하기 위해 조정 가능 한" 셔터 도어' 를 입히고 있다. 전원은 dc-link 인버터와 AC/DC 배터리로 구성되며, 둘 다 최대 7kV의 전력을 공급할 수 있습니다. 이 툴을 사용하면 전원의 제어를 통해 에칭 속도 (etching rate) 를 조정하여 높은 공정 효율성 (process efficiency) 과 유연성 (flexibility) 을 얻을 수 있습니다. AXCELIS Integra는 최신 석판화 (lithography) 및 에치 (etch) 서브시스템에 연료를 공급하여 탁월한 성능과 안정적인 etch 결과를 제공하는 통합 솔루션을 제공합니다. 에셋은 20 nm 정도의 얇은 레이어를 에칭할 수 있으며, 프로세스 심도 일관성은 2% 보다 높습니다. 에치 공정은 구리, 질화 갈륨, 질화 알루미늄, 실리시드 폴리 실리콘 등 다양한 호환 물질을 갖는다. 다양한 에치 (etch) 모드를 사용할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 에치 프로세스를 세밀하게 조정하여 해상도, 항복, 기타 프로세스 매개변수를 최적화할 수 있습니다. Integra 모델은 또한 활성 가스 모니터링 장비, 자동 비상 정지 (Emergency Stop) 및 과열 경보와 같은 향상된 안전 기능을 제공합니다. 이러한 안전 시스템은 사용자가 모든 유해 프로세스 및 재료로부터 적절한 보호 (보호) 를 보장합니다. 또한이 시스템은 NRTL을 준수합니다. 즉, National Fire Protection Association 및 UL의 요구 사항을 충족합니다. AXCELIS Integra 장치 (AXCELIS Integra unit) 는 모든 반도체 애플리케이션에 이상적인 에치 솔루션으로, 에치 프로세스를 정확하게 제어할 수 있는 안정적인 에칭이 필요합니다. 혁신적인 디자인, 조절 가능한 에치 레이트 (etch rate), 다양한 호환 재료, 향상된 안전 기능을 갖춘 Integra는 모든 에칭 또는 처리 작업에 적합한 선택입니다.