판매용 중고 AXCELIS Integra #9293674
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AXCELIS Integra는 복잡한 집적 회로 제조를 위해 설계된 에칭/애싱 장비입니다. 이 제품은 높은 수준의 반복성을 제공하는 검증된 ABAXIS 설계를 기반으로 합니다. 이 시스템은 4 가지 주요 구성 요소 (프로세스 챔버, 원자로, 검출기 및 에칭/애싱 프로세스 헤드) 로 구성됩니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 에칭/애싱 장치의 컴포넌트를 포함하는 온도 및 대기 제어 챔버입니다. 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스를 위한 제어 환경을 제공하여 온도, 압력, 프로세스를 최적으로 관리하도록 설계되었습니다. 챔버 자체에는 최적화된 진공기와 자동화된 대기 제어 도구 (Atmosphere Control Tool) 가 장착되어 있어 최고의 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 결과를 보장합니다. 원자로는 에칭/애싱 (etching/ashing) 과정에 필요한 집중된 방향 에너지를 생산합니다. 여기에는 전기로 충전 된 일련의 전극이 포함되어 있으며, 이는 에칭/애싱 (etching/ashing) 에 필요한 반응을 형성하기 위해 상호 작용합니다. 원자로는 특정 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로젝트에 필요한 정밀한 양의 에너지를 생산하도록 맞춤형 설계되었습니다. 검출기 (detector) 는 프로세스가 올바르게 실행되도록 하는 데 필수적인 요소이며, 각 에칭/애싱 (etching/ashing) 단계에 필요한 매개변수에 대한 피드백을 제공하도록 설계되었습니다. 따라서 필요에 따라 에칭/어싱 (etching/ashing) 프로세스를 모니터링하고 수정하여 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 마지막으로, 에칭/어싱 프로세스 헤드는 실제로 에칭/어싱 프로세스를 수행하기 위한 주요 구성 요소입니다. 일관되고 정확한 에칭/애싱 (etching/ashing) 결과를 만들어내도록 설계되었으며 고정밀 노즐이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 에칭/어싱 프로세스가 빠르고 정확하게 수행됩니다. 인티그라 (Integra) 는 신뢰성이 뛰어나고, 에칭/애싱 (etching/ashing) 방식의 자산으로, 가장 복잡한 디자인의 복잡성을 처리하도록 설계되었습니다. ··· 독자적 인 원자로 는 어떤 정해진 과정 이든 정밀 한 "에너지 '수준 을 유지 하고, 자동화 된 대기 조절 과 탐지기 는 그 과정 이 순조 롭게 진행 되도록 보장 해 준다. 마지막으로, 에칭/애싱 프로세스 헤드 (etching/ashing process head) 는 균일하고 정확한 결과를 생성하여 매번 최고 품질의 제품이 달성되도록 설계되었습니다.
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