판매용 중고 AXCELIS / FUSION WSI #9087726

AXCELIS/FUSION WSI는 수동 에치 프로세스 및 공수 에치/애쉬 시스템의 필요성을 근절하기 위해 설계된 고급 etch/ash 장비입니다. FUSION WSI 시스템은 깊은 UV 레이저, 고출력 무선 주파수 및 결합 된 가스 및 화학 전달 장치의 조합을 사용합니다. 이 기계는 또한 각 에치 (etch) 또는 애쉬 사이클 (ash cycle) 후에 챔버를 빠르고 안정적으로 청소하는 비용 효율적인 방법을위한 자동 챔버 세척 도구를 갖추고 있습니다. 이 통합 자산은 다양한 박막 (Thin Film) 크기와 모양을 구현할 수 있는 높은 처리량, 높은 균일성, 프로세스 솔루션을 제공합니다. 이 모델은 GaAs, 실리콘, 폴리 실리콘, SiGe 및 질화물을 포함한 다양한 재료에서 정확한 패턴을 생성 할 수 있습니다. AXCELIS WSI 장비는 가스, 액체, 플라스마 소스를 포함한 다양한 재료로 구동됩니다. 이 시스템은 정확하고 반복 가능한 프로세스 레시피를 제공 할 수 있으며, 에치 (etch) 와 애쉬 (ash) 레시피를 프로그래밍할 때 사용자에게 더 큰 유연성을 제공합니다. 고출력 무선 주파수 원은 GaAs, SiGe 및 질화물 재료에 대한 정확한 플라즈마 에치를 제공하는 데 사용됩니다. 딥 UV (DUV) 레이저는 폴리 실리콘 (polysilicon) 및 GaAS (GaAs) 와 같은 어려운 재료를 효과적으로 패턴화하고 식각 레시피를 효율적으로 개발하는 데 사용됩니다. 또한 WSI 장치에는 자동 급지대 (automated feeder) 머신이 장착되어 있어 사용자가 도구에 웨이퍼를 정확하게 공급할 수 있습니다. 급지대 자산은 불균일 성 및 오염을 방지하는 통합 항법을 특징으로합니다. AXCELIS/FUSION WSI 모델에는 다양한 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 프로세스에 대해 높은 정밀도를 제공하는 공정 제어가 장착되어 있습니다. 이 장비는 또한 사용자가 레시피 (recipe) 를 빠르고 효과적으로 전원을 끄고 램프할 수 있도록 합니다. 즉, 전원이 꺼지고 기능 향상으로 인해 프로세스 레시피가 갑작스럽게 변경되는 것을 방지할 수 있습니다. 즉, 이질적인 결과를 초래할 수 있습니다. 결론적으로, FUSION WSI 시스템은 광범위한 재료에 대한 정확한 에치를 제공하도록 설계된 고도의 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 자동 급지대 (automated feeder unit), 통합 항정적 (integrated antitatic) 및 공정 제어 (process control) 기능을 통해 기계는 높은 정밀도와 균일성을 갖춘 반복 가능한 에치 레시피를 제공 할 수 있습니다. 이 제품은 최소한의 시간 소모로 소재를 정확하게 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 할 수 있는 비용 효율적이고 효율적인 방법을 제공합니다.