판매용 중고 AXCELIS / FUSION Rapidstrip #293632719

AXCELIS/FUSION Rapidstrip은 다양한 반도체 애플리케이션을 위해 특별히 설계된 에처 및 애셔입니다. 업계 최고의 에치 레이트 (etch rate) 와 뛰어난 표면 평면 (planarity) 을 경쟁사 가격대로 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 가장 정확하고 정밀하게 200 및 300mm 웨이퍼를 처리하도록 제작되었습니다. 에칭/애싱 챔버 (etching/ashing chamber) 는 진정한 병렬 플레이트 에칭 기능을 통해 유연성 및 프로세스 제어를 강화합니다. 챔버는 5 × 10-7 Pa의 예외적 인 염기압과 최대 20 리터/초의 펌핑 속도로 작동 할 수있는 고압 터보 분자 펌프에 의해 구동됩니다. 공정 가스 밸브 설계에는 6 개의 독립적으로 결합 된 가스 출력이 포함되어 있으며 최대 가스 흐름은 85 Standard Liter/minute입니다. 프로세스 제어 측면에서, FUSION Rapidstrip은 최대 에치 속도가 5A/min인 0-550W의 조절 가능한 전력 제어 범위를 특징으로하며, 레시피 파일은 최대 32K 요소를 메모리에 저장할 수 있습니다. 웨이퍼 전체의 균일 프로파일은 3% 편차 내에 평평하며, 총 두께 균일 성은 4-7% 입니다. 재료 판, 포커스 링 (focus ring) 및 점화기는 모두 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어져 내구성이 높고 신뢰할 수 있습니다. 이 장비에는 최적의 성능을 위한 냉각/청소 시스템이 내장되어 있으며, 환경 보호를위한 질소/산소 기능이 있습니다. AXCELIS Rapidstrip은 광범위한 유기, 무기 및 금속 함유 재료, 다양한 기판 및 다양한 크기와 호환됩니다. 또한 가장 깊은 트렌치 (trench) 와 가장 작은 비아 (vias) 의 에칭을 허용하며 반도체 산업에서 허용되는 최고 품질 표준을 충족합니다. 요약하자면, 래피드스트립 (Rapidstrip) 은 매우 강력하고 신뢰할 수 있는 에처이며, 반도체 고객의 가장 복잡한 요구 사항을 충족할 수 있습니다.