판매용 중고 AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9329249

AXCELIS/FUSION RapidStrip 320은 박막 (Thin Film) 을 효과적으로 분리하고, 미크론 이하의 크기에 이르기까지 고정밀도, 고화질 구조를 생산할 수 있도록 설계된 고성능 Etcher/Asher 장비입니다. 첨단 나노 스케일 집적 회로, 광전자 및 마이크로파/RF 장치의 제작에서 고도의 정밀 프로세스를 위해 사용되었습니다. FUSION RapidStrip 320 시스템은 유연성을 높이고 고객의 요구와 프로세스 변화를 수용하는 고급 모듈식 (Modular) 설계를 제공합니다. 이 장치에는 고압 화학 전달 기계 (high-pressure chemical delivery machine) 와 벗겨진 용도 및 재료에 따라 다른 화학 물질을 처리 할 수있는 기능이 포함되어 있습니다. 공구는 공기 또는 고압 화학 플럭스를 사용하여 기질을 청소합니다. 에셋은 매우 효율적이며 분당 최대 2 개의 웨이퍼 (wafer) 를 제거 할 수 있으며, 에칭 후 최소 초과 재료가 남아 있습니다. 또한 와이드 뷰 (field of view) 가 있는 고해상도 CCD 카메라를 통해 프로세스 매개변수를 정확하게 모니터링할 수 있습니다. 이렇게 하면 각 에치 프로세스의 진행률을 모니터링할 수 있습니다. AXCELIS RapidStrip 320 모델은 신뢰할 수 있으며, 고전압 스위치보드 및 여러 failsafe 진공실 등 여러 개의 이중화를 포함하고 있습니다. 온보드 컴퓨터 및 제어 장비를 사용하면 프로세스 매개변수를 정확하게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한 중요한 프로세스 매개변수를 자동으로, 안정적으로 유지 관리할 수 있도록 보정 및 테스트 작업이 내장되어 있습니다. 이 시스템은 온도, 에치 속도, 가스 흐름, 전원 수준 등 프로세스 변경 및 etch 프로세스 매개변수 구성에 유연성을 제공합니다. 온보드 소프트웨어를 사용하면 프로세스 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있습니다. RapidStrip 320 장치를 사용하면 처리 시간과 처리량을 쉽게 조정할 수 있습니다. AXCELIS/FUSION RapidStrip 320 머신은 사용하기 쉽고 안정적이며 경제적입니다. 첨단 설계, 유연성 및 고정밀도 결과를 통해 첨단, 나노 스케일 집적회로, 옵토일렉트로닉 (optoelectronic) 및 마이크로파/RF 장치를 처리하는 데 이상적인 도구입니다.