판매용 중고 AXCELIS / FUSION Rapidstrip 210 #293632717

AXCELIS/FUSION Rapidstrip 210은 고속, 정확한 에칭 및 애싱 작업을 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. 이 장비는 반응성 이온 에칭 (RIE), 화학 증기 증착 (CVD) 및 습식 공정의 조합을 사용합니다. FUSION Rapidstrip 210에는 2 개의 내장 에칭 챔버가 있으며, 하나는 반응성 이온 에칭 공정, 다른 하나는 화학 증기 증착 공정이 있습니다. 두 시스템은 다른 에칭 및 애싱 요구 사항에 맞게 최적화되었습니다. 이 장치는 표면을 0.2 m 해상도까지 에칭 할 수 있으므로 매우 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 작업압은 0.1mbar (0.1mbar) 로 작동하며 실리콘, III-V 재료, 유기물과 같은 고급 재료를 처리하도록 구성 될 수 있습니다. 또한 AXCELIS Rapidstrip 210 은 고급 자동 로드 기능 덕분에 처리량이 매우 높습니다. 인라인 웨이퍼 카세트 로더 (In-Line Wafer Cassette Loader) 는 재료를 적재 및 언로드할 때 시간을 절약하는 반면, 자동화된 프로세스 제어 시스템은 작업을 단순화하고 사람의 오류 위험을 줄입니다. 이 장치는 또한 다양한 안전 (safety) 기능을 갖추고 있어 기계가 안전하고 효율적으로 실행됩니다. 가스 흐름 및 챔버 압력 모니터링을위한 통합 안전 컨트롤러 (Safety Controller) 와 전기 또는 자기 간섭 방지를위한 EMI 필터 (EMI filter) 가 있습니다. 전압 오류에 대한 역극성 보호 (reverse-polarity protection) 및 기계에 오류가 발생할 때 긴급 프로그램 중지 (emergency program stop) 도 있습니다. 운영을 강화하기 위해 Rapidstrip 210은 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 다양한 작업을 간편하게 탐색할 수 있습니다. 또한, 사용자는 특정 레시피를 선택하고, 자주 사용되는 레시피를 저장하고, 액세스하고, 과거 프로세스를 검토할 수 있으며, 원하는 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 프로세스에 맞게 설정할 수 있습니다. 전반적으로 AXCELIS/FUSION Rapidstrip 210 etcher/asher는 고속, 정확한 에칭 및 애싱 작업을 위해 설계된 고급 도구입니다. 사용자 친화적인 GUI, 다양한 통합 안전 기능 (Integrated Safety Features), 높은 정밀도 (High Precision), 높은 처리량 (High Throughput) 기능을 통해 다양한 에칭 및 애싱 요구 사항에 적합합니다.