판매용 중고 AXCELIS / FUSION MU #293767225

AXCELIS/FUSION MU는 반도체 생산, 특히 집적 회로의 제조 및 테스트에 사용되는 etcher/asher 장비입니다. 이 장비는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에 패턴을 만들고, 패턴이 생성 된 후 웨이퍼를 테스트 및 검증하는 데 사용됩니다. FUSION MU에는 다른 에치/애셔 시스템에서 눈에 띄는 여러 기능이 있습니다. AXCELIS MU는 대용량 생산을 제공하고 3 ~ 14 미크론 빔 리소그래피 기술을 갖춘 고급 단일 챔버 시스템입니다. 이 첨단 기술로, 이 장치는 1.5 미크론 (1.5 미크론) 까지의 정확성을 달성 할 수 있습니다. 이는 대부분의 경쟁 시스템에서 사용 가능한 것보다 같거나 더 좋습니다. 또한 대용량 생산을 위한 통합 로드 잠금 기능이 있습니다. 즉, 프로세스 간의 다운타임을 최소화하면서 높은 수준의 제어 및 안정성을 제공합니다. 추가 안전 및 품질 보증을 위해, 기계는 수많은 프로세스 지향 개선 (process-oriented enhanced) 을 적용 할 수 있습니다. 이러한 기능에는 각 프로세스 전에 제거 (purge) 기능을 사용하는 것과 여러 OAI 에치 프로세스를 한 단계로 통합하는 기능이 포함됩니다. 즉, 각 작업에 가장 높은 품질을 제공하면서 생산성을 높일 수 있습니다. 또한, 내장 온도 조절 도구를 사용하면 에칭 시간과 결과의 정확성과 일관성을 유지할 수 있습니다. 마지막으로 MU는 다양한 구성 옵션을 제공합니다. 여기에는 여러 애플리케이션의 자산을 사용자 정의할 수 있는 다양한 소프트웨어 모듈이 포함되며, 성능 향상을 위한 구성 (옵션) 을 선택할 수 있습니다 (영문). 이러한 유연성을 통해 사용자는 모델을 정확한 요구에 맞게 조정할 수 있으며, 반도체 (semiconductor) 생산 라인에서 매우 다양한 선택이 가능합니다. 결론적으로 AXCELIS/FUSION MU는 반도체 생산을 위해 특별히 설계된 기능이있는 고급 단일 챔버 에처/애셔 장비입니다. 높은 정확도, 통합 안전 (Integrated Safety) 기능, 다양한 구성 옵션을 제공하여 최상의 성능과 결과를 보장합니다.