판매용 중고 AXCELIS / FUSION MTL-202A #9083202

AXCELIS/FUSION MTL-202A는 광범위한 재료에 대한 기판 처리 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있도록 설계된 고급 에치/애셔 (etch/asher) 장비입니다. 이 고성능 etcher/asher는 정밀 재료 수정, 클리닝, 플라즈마 에칭 및 기타 응용 프로그램을위한 최고의 도구입니다. FUSION MTL-202A는 대용량 생산 및 일관된 결과를 위해 제작되었습니다. MTL-201A 의 고급 서브시스템 (advanced subsystem) 은 다양한 애플리케이션 요구 사항을 충족하기 위해 일관성 있고 효율적인 재료 처리를 가능하도록 설계되었습니다. 클램핑 시스템은 최대 8 "x8" 크기의 기판을 보유하고 있으며 사용자에게 높은 수준의 결정을 제공합니다. AXCELIS MTL-202A 의 high-vacuum 환경은 깨끗하고 일관된 프로세스 챔버를 유지하고 기판의 프로세스 수율을 향상시킵니다. 일관된 플라즈마 에칭 성능을 보장하기 위해 MTL-202A에는 고밀도, 단기 전원이 장착되어 있으므로 미세 처리 및 대상 처리가 가능합니다. 고급 펌프 및 스로틀 밸브 장치는 프로세스 가스를 변조하여 원하는 프로세스 결과를 달성합니다. 또한 공정 중 온도 및 압력 피드백을 제공하는 고급 센서 머신 (고급 센서 머신) 이 특징입니다. 일관된 에칭 조건을 유지하는 데 필수적입니다. AXCELIS/FUSION MTL-202A 소프트웨어는 심층적인 프로세스 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 사용자는 처리 매개변수 (예: 압력, 전력, 가스 흐름) 를 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 이러한 설정은 저장되며, 매번 동일한 에칭 프로세스 결과를 얻기 위해 재사용할 수 있습니다. 또한 사용자는 실행 (run) 을 추적하고 현재 (current) 및 이전 (previous) 프로세스 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. 또한, 소프트웨어는 에칭 된 기판의 성능을 평가하기위한 프로세스 분석 도구를 제공합니다. 요약하면, FUSION MTL-202A는 기판 처리 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있도록 설계된 고급 에치/애셔 도구입니다. 서브시스템, 소프트웨어, 그리고 전체적인 설계를 통해 대용량 생산이 촉진되고, 일관된 결과를 얻어, 모든 에칭 (etching) 회사에 필수적입니다.